[發(fā)明專利]拉晶爐四循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310198078.4
• 申請日: 2013-05-26
• 公開（公告）號: CN103276442A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐靂
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱晶石光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B35/00
• 代理公司: 哈爾濱東方專利事務(wù)所 23118
• 代理人: 陳曉光

1.一種拉晶爐四循環(huán)水冷卻系統(tǒng)，其組成包括:?內(nèi)膽壁，其特征是:?所述的內(nèi)膽壁與外殼之間形成循環(huán)水空腔，在所述的循環(huán)水空腔中，圍繞所述的內(nèi)膽壁均勻設(shè)置4個分水隔板，由所述的內(nèi)膽壁、外殼、分水隔板形成四個分水槽，所述的分水槽的下端設(shè)置有進水管，所述的分水槽的上端設(shè)置有出水管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐四循環(huán)水冷卻系統(tǒng)，其特征是:所述的四個分水槽與橫隔板連接，所述的橫隔板、內(nèi)膽壁、外殼形成底水槽，所述的底水槽的底端設(shè)置有總進水管，所述的底水槽的上端設(shè)置有總出水管，所述的內(nèi)膽壁、外殼上設(shè)置有側(cè)法蘭，所述的內(nèi)膽壁、外殼的上部安裝有法蘭。

3.一種拉晶爐四循環(huán)水冷卻系統(tǒng)，其特征是:?循環(huán)使用軟化水，冷卻水采用下進上出的方式，充滿整個冷卻部位，總水進來后，分配到幾個分水器，在分支流入冷卻部位，最后流入回水匯流器，集中進入總回水，回到循環(huán)水池；

為了保護生長室內(nèi)的所有加熱部件和電阻直流加熱系統(tǒng)的一些部件的熱穩(wěn)定性，此循環(huán)系統(tǒng)在生長室部件上的水套上配有流量控制器（在入口處）和溫度傳感器（在出口出），從而很好的控制循環(huán)系統(tǒng)中的水溫，保證晶體正常形成；并用可拆卸的管子接頭進行供排水，在緊急情況下能快速拆除水管水管用多層強化橡膠制成，短期加熱達到160℃，過壓達到10Bar，為了防止水被固體顆粒污染，還在每個水管的入口處安裝細過濾器，以保護流量控制器，這樣進入水套的水溫就是穩(wěn)定的，在15℃——20℃，且在生長過程中不發(fā)生變化；

該冷卻系統(tǒng)采用自動模式檢測，使用了一下反饋耦合信號：

①?通過流量控制器WFM1——WFM9在想控制水流量；

②?通過溫度傳感器WL1——WL9水套溫度控制信號；

③?通過流量控制器WFM1——WFM9的設(shè)定點標準化信號。