[發(fā)明專利]釤摻雜氟鈹磷酸鹽的發(fā)光薄膜及其制備方法和電致發(fā)光器件

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310196684.2
• 申請(qǐng)日: 2013-05-23
• 公開（公告）號(hào): CN104178154A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周明杰;陳吉星;王平;張娟娟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
• 主分類號(hào): C09K11/72
• 分類號(hào): C09K11/72;C09K11/73;H01L33/50
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

1.一種釤摻雜氟鈹磷酸鹽的發(fā)光薄膜，其特征在于，其化學(xué)通式為:BeMe₄(PO₄)₃F:xSm³⁺；其中，BeMe₄(PO₄)₃F是基質(zhì)，Sm³⁺是激活光離子，為發(fā)光薄膜的發(fā)光中心，Me選自Mg,Ca,Sr或Ba元素，x的取值范圍為0.01～0.05。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的釤摻雜氟鈹磷酸鹽的發(fā)光薄膜，其特征在于，x的取值為0.02。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的釤摻雜氟鈹磷酸鹽的發(fā)光薄膜，其特征在于，包括下述化學(xué)式的發(fā)光薄膜:

BeMg₄(PO₄)₃F:0.01Sm³⁺；BeMg₄(PO₄)₃F:0.02Sm³⁺；BeMg₄(PO₄)₃F:0.05Sm³⁺；BeCa₄(PO₄)₃F:0.02Sm³⁺；BeCa₄(PO₄)₃F:0.01Sm³⁺；BeCa₄(PO₄)₃F:0.05Sm³⁺；BeCa₄(PO₄)₃F:0.05Sm³⁺；BeSr₄(PO₄)₃F:0.02Sm³⁺；BeSr₄(PO₄)₃F:0.01Sm³⁺；BeSr₄(PO₄)₃F:0.05Sm³⁺；BeBa₄(PO₄)₃F:0.01Sm³⁺；BeBa₄(PO₄)₃F:0.05Sm³⁺。

4.一種釤摻雜氟鈹磷酸鹽的發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟:

陶瓷靶材的制備:分別選用純度為99.99%的MeO，BeF₂，P₂O₅和Sm₂O₃粉體，均勻混合后，在900～1300℃下燒結(jié)，制得陶瓷靶材，其中，MeO，BeF₂，P₂O₅和Sm₂O₃的摩爾比為8:2:3:x；

將制得的陶瓷靶材和ITO玻璃襯底裝入鍍膜設(shè)備的腔體中，密封腔體后，對(duì)腔體進(jìn)行抽真空處理，控制腔體真空度為1.0×10^-3Pa～1.0×10^-5Pa；

設(shè)置鍍膜工藝參數(shù):設(shè)置基靶間距為45～95mm，襯底溫度為250℃～750℃，鍍膜激光的能量為80～300W，過程中通入流量為10～40sccm的氧氣，工作壓強(qiáng)為0.5～5Pa；待工藝參數(shù)設(shè)置完成后，進(jìn)行鍍膜處理；隨后在ITO玻璃襯底的ITO層表面制得釤摻雜氟鈹磷酸鹽的發(fā)光薄膜，該發(fā)光薄膜的其化學(xué)通式為:BeMe₄(PO₄)₃F:xSm³⁺；其中，BeMe₄(PO₄)₃F是基質(zhì)，Sm³⁺是激活光離子，為發(fā)光薄膜的發(fā)光中心，Me選自Mg,Ca,Sr或Ba元素，x的取值范圍為0.01～0.05。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的釤摻雜氟鈹磷酸鹽的發(fā)光薄膜的制備方法，其特征在于，所述陶瓷靶材制備過程中的燒結(jié)溫度為1250℃。