[發明專利]曝光機曝光能量的校正方法及應用其的曝光方法

無效

• 申請號: 201310184852.6
• 申請日: 2013-05-17
• 公開（公告）號: CN104166314A
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 張鴻明
• 申請（專利權）人: 川寶科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市浩天知識產權代理事務所 11276
• 代理人: 宋菲;劉云貴

技術領域

本發明關于一種曝光機曝光能量的校正方法及應用其的曝光方法，尤指利用多個光能量感測單元校正的校正方法及應用其的曝光方法。

背景技術

目前產業界制造電路板時普遍需利用到曝光機，一般來說，曝光機可能會具有一個以上的曝光裝置，曝光機使用時先將感光電路板放置于曝光機的承載臺上，接著再使承載臺相對于曝光機的這些曝光裝置移動，以使這些曝光裝置對感光電路板曝光。然而，這些曝光裝置內的發光裝置由于其自身特性的不同（例如發光效率不同、使用時數不同等）而會造成這些曝光裝置的曝光能量不均，其會直接使得感光電路板吸收的光能不均，進而造成當下曝光的感光電路板報廢。

因此，如何發明出一種曝光機曝光能量的校正方法及應用其的曝光方法，以使其可改善曝光機曝光能量的均勻性進而提升電路板的制造合格率，將是本發明所欲積極揭露之處。

發明內容

有鑒于上述現有技術的缺憾，發明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克服，憑其從事該項產業多年的累積經驗，進而研發出一種曝光機曝光能量的校正方法及應用其的曝光方法，以期達到改善曝光機曝光能量的均勻性進而提升電路板的制造合格率的目的。

為達上述目的，本發明提供一種曝光機曝光能量的校正方法，該曝光機具有多個供電裝置、多個曝光裝置及一承載臺，這些供電裝置分別與這些曝光裝置電連接，該曝光機曝光能量的校正方法包含下列步驟：

A.提供一處理單元及多個光能量感測單元于該曝光機，這些供電裝置及這些光能量感測單元電連接該處理單元；

B.使這些曝光裝置分別與這些光能量感測單元相對，并使這些曝光裝置分別對這些光能量感測單元投光；

C.使該處理單元記錄這些曝光裝置的投光能量，并計算出這些投光能量的最小值；以及

D.使該處理單元調整這些供電裝置的供電量，以使這些曝光裝置的投光能量的校正值相等且小于或等于該最小值。

上述曝光機曝光能量的校正方法中，這些光能量感測單元設置于該承載臺。

上述曝光機曝光能量的校正方法中，這些光能量感測單元分別為紫外線傳感器。

本發明還提供一種曝光機的曝光方法，其應用如上所述的曝光機曝光能量的校正方法，該曝光機的曝光方法還包含下列步驟：

E.放置一感光電路板于該曝光機的承載臺上；以及

F.使這些曝光裝置與該感光電路板相對，并使這些曝光裝置依照該校正值對該感光電路板曝光。

上述曝光機的曝光方法中，該步驟B及該步驟F中，這些曝光裝置與這些光能量感測單元之間的距離，與這些曝光裝置與該感光電路板之間的距離相等。

由此，本發明的曝光機曝光能量的校正方法及應用其的曝光方法可提升曝光機曝光的準確度進而提升電路板的制造合格率。

附圖說明

圖1為本發明第一實施例的示意圖。

圖2為本發明第二實施例的示意圖。

主要部件附圖標記：

1???????????????處理單元

2???????????????光能量感測單元

3???????????????曝光機

31??????????????供電裝置

32??????????????曝光裝置

33??????????????承載臺

34??????????????L型固定框

4???????????????感光電路板

具體實施方式

為充分了解本發明的目的、特征及技術效果，茲由下述具體實施例，并結合附圖，對本發明做詳細說明，說明如下：

圖1為本發明第一實施例的示意圖，如圖所示，本發明的第一實施例為一種曝光機曝光能量的校正方法，該曝光機3具有多個供電裝置31、多個曝光裝置32及一承載臺33，這些供電裝置31分別與這些曝光裝置32電連接，該承載臺33用以承載一感光電路板（圖未示），這些曝光裝置32內分別具有用以曝光于該感光電路板的曝光圖像（圖未示），該曝光機曝光能量的校正方法包含下列步驟：