[發明專利]吸附臺

有效

• 申請號: 201310184743.4
• 申請日: 2013-05-17
• 公開（公告）號: CN103456667B
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 高木一也;白戶順;山谷柳逸
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇,張會華

技術領域

本發明涉及一種適合于保持液晶顯示面板、有機發光面板那樣的顯示板的吸附臺。

背景技術

對于在玻璃基板上形成有電路的液晶顯示面板那樣的顯示板，例如在制造工序中，使用探針臺(prober)來對其進行電氣檢查。在該檢查中，通常，利用負壓將作為被檢查體的液晶顯示面板保持在被裝入到探針臺中的吸附臺上。

為了將接受檢查后的被檢查體安全且迅速地自吸附臺拆卸，在吸附臺上，以能夠自該吸附臺的吸附面突出的方式設有用于使被檢查體自該吸附面浮起的多個升降銷(例如，參照專利文獻1)。

位于突出位置的升降銷在吸附面的上方自輸送機器人接收到被檢查體后下降到吸附面之下。在通過該升降銷的下降來使被檢查體移動到上述吸附面上后，通過裝入到吸附臺中的負壓機構來使負壓作用于上述吸附面。在上述被檢查體接受檢查的期間，該被檢查體在上述負壓的作用下被可靠地保持于上述吸附面。在檢查后，隨著升降銷的上升，將被檢查體自吸附面抬起。利用輸送機器人將由上述升降銷自吸附面抬起后的上述被檢查體不受作用于吸附面與被檢查體之間的較強的靜電的影響地自吸附臺除去。

但是，由于上述升降銷與被檢查體接觸的接觸面積較小，因此，隨著被檢查體的大型化導致的重量增加，被檢查體的與升降銷接觸的接觸部所受到的局部應力變大。具有該玻璃基板的被檢查體的局部的應力集中會對被檢查體帶來較大的應力，故此不希望發生該局部的應力集中。

因此，提出有如下一種裝置：由多個互相隔開間隔地平行配置的固定保持構件和在各固定保持構件之間以能夠相對于該固定保持構件升降的方式配置的多個帶狀的升降構件來構成吸附面，在向該吸附面交接被檢查體時，使上述升降構件相對于上述固定保持構件下降(例如，參照專利文獻2)。

采用專利文獻2所記載的裝置，上述升降構件在其上升位置與上述固定保持構件共同構成平坦的吸附面。在吸附面與機械臂之間交接被檢查體時，機械臂能夠插入到由于多個帶狀的上述升降構件下降而形成的空間內，因此，機械臂與吸附面不會發生干涉，并且，由于互相平行地配置的多個固定保持構件以較大的帶狀面積支承被檢查體，因此不會使較強的局部應力作用于被檢查體而能夠適當地處理被檢查體。

然而，在專利文獻2所記載的裝置中，用于對被檢查體進行吸附保持的負壓所作用的吸附面由多個固定保持構件和能夠分別在該固定保持構件之間進行升降的升降構件構成。因此，用于形成吸附面的支承臺的結構變得復雜，且需要在支承臺的內部設置用于使多個升降構件同時升降的機構，由于支承臺的結構變得復雜，因此存在吸附裝置因結構變得復雜而變得價格高昂這樣的缺點。

專利文獻1：日本特開2002－246450號公報

專利文獻2：日本特開2011－29565號公報

發明內容

因此，本發明的目的在于提供一種能夠不會造成結構的復雜化且不會使較強的應力局部地作用于作為被檢查體的顯示面板地在交接該顯示面板時使該顯示面板在吸附面上升降的吸附臺。

本發明提供一種吸附臺，其用于保持顯示面板，其中，該吸附臺包括：支承臺，其具有開設有負壓開口的吸附面；多個升降條，其以橫穿上述吸附面的方式配置；多個凹部，該多個凹部彼此并行地設置在上述吸附面上，用于將上述升降條收納在上述支承臺內而使上述升降條不會自上述吸附面突出；支承機構，其在上述支承臺的側部中的、上述多個凹部敞開的部位以能夠使上述升降條升降的方式支承上述升降條；以及升降裝置，其為了使上述升降條在自上述凹部突出的上升位置與收納在上述凹部中的下降位置之間升降而與上述支承機構相關聯地設置。

在本發明的上述吸附臺中，用于將上述升降條收納于上述支承臺的上述凹部以橫穿上述支承臺的上述吸附面的方式形成。能夠收納于上述凹部中的上述升降條通過設于上述支承臺的側部的上述支承機構而在收納于上述凹部中的后退位置與自上述吸附面突出的突出位置之間升降。因而，不必如以往那樣將上述支承臺形成為多個固定構件和可動構件的集合體，另外，能夠利用多個上述升降條來使該顯示面板在上述吸附面上升降，以便將上述顯示面板交接到上述吸附臺上，因此，不會造成上述吸附臺的結構的復雜化，即使是大型的顯示面板，也能夠防止較強的應力局部地作用于該顯示面板。

能夠在上述支承機構上設置用于對作用于上述升降條的沖擊進行緩和的沖擊緩和機構。在吸附臺與例如機械臂之間交接上述顯示面板時，通過該沖擊緩和機構，不需要為了避免沖擊作用于該顯示面板而使機械臂的動作如以往那樣顯著地減速。因此能夠不需要機械臂的緩慢的動作，因此能夠謀求減少生產節拍時間。