[發(fā)明專利]晶粒分離裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310183320.0
• 申請日: 2013-05-17
• 公開（公告）號: CN103268863A
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱玉萍;岑剛;朱國璋
• 申請（專利權(quán)）人: 嘉興景焱智能裝備技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽;黃燕石

1.一種晶粒分離裝置，包括機(jī)座、凸輪和頂針，所述凸輪設(shè)置在機(jī)座內(nèi)，所述凸輪由步進(jìn)電機(jī)提供動(dòng)力，所述頂針設(shè)置在所述機(jī)座的頂端，所述頂針的針尖面積小于待分離晶粒的面積，其特征在于：所述頂針與所述凸輪之間通過一個(gè)連桿相連接，在所述機(jī)座內(nèi)設(shè)置一個(gè)彈簧座，在所述連桿與所述彈簧座之間設(shè)置一個(gè)推力彈簧，所述連桿通過所述推力彈簧使其產(chǎn)生一個(gè)向上推動(dòng)頂針的頂力，所述凸輪的側(cè)邊開有凸輪槽，在所述凸輪槽內(nèi)設(shè)置隨動(dòng)器，所述連桿的下端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述隨動(dòng)器上，當(dāng)所述隨動(dòng)器位于凸輪槽的遠(yuǎn)心端時(shí)，所述連桿將所述頂針頂出機(jī)座的頂端，當(dāng)所述隨動(dòng)器位于凸輪槽的近心端時(shí)，所述連桿將所述頂針拉回機(jī)座的頂端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒分離裝置，其特征在于：在所述機(jī)座頂端設(shè)有多個(gè)氣孔，所述氣孔通過氣路連接至一個(gè)氣壓裝置，所述氣壓裝置為所述氣孔提供真空或正壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒分離裝置，其特征在于：所述機(jī)座上部為柱形，在靠近機(jī)座頂端的柱形側(cè)面設(shè)置多個(gè)MOS管加熱。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶粒分離裝置，其特征在于：在所述機(jī)座上靠近其頂端的柱形內(nèi)部設(shè)置溫度傳感器，所述溫度傳感器將溫度信息傳送給控制單元，所述控制單元根據(jù)溫度傳感器的信息控制所述MOS管的加熱量，使所述機(jī)座的頂端保持一個(gè)恒定的溫度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的晶粒分離裝置，其特征在于：在所述機(jī)座的頂端的上方設(shè)置晶粒吸嘴。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶粒分離裝置，其特征在于：在所述凸輪的轉(zhuǎn)軸上設(shè)置位置傳感器，所述位置傳感器將頂針的位置信息傳送給控制單元，所述控制單元控制所述晶粒吸嘴在所述頂針位于最高位置時(shí)吸取所述晶粒。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的晶粒分離裝置，其特征在于：所述頂針為2至4個(gè)。