[發明專利]一種真空鍍膜機行星式工件架

有效

• 申請號: 201310178241.0
• 申請日: 2013-05-15
• 公開（公告）號: CN103290382A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 周小平;楊慶忠
• 申請（專利權）人: 寧波韻升股份有限公司;寧波韻升機電設備有限公司;寧波韻升磁體元件技術有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 寧波天一專利代理有限公司 33207
• 代理人: 徐良江

技術領域

本發明涉及真空鍍膜技術領域，特別涉及一種用于臥式多靶真空濺射或離子鍍膜機中的行星式工件架。

背景技術

電鍍在工業中應用已久，但由于在電鍍過程中有三廢排放對環境污染嚴重，需大量投資治理又難根治，近些年來國內外進行了廣泛的研究，部分采用離子鍍代替電鍍技術，特別是立式多靶真空濺射或離子鍍膜機得到了較快的發展，主要以掛鍍為主，其缺點是比較適合特定工件的鍍膜，與電鍍比被鍍件的適應性較差，很難實現工件滾鍍的效果，所以臥式多靶真空濺射或離子鍍膜機目前在加速發展中，主要用于滾鍍小形工件，如螺釘、螺母、多邊形薄片、圓環、圓片、各種多邊形塊件和易碎工件如磁性材料各種形狀的多邊形塊件等，臥式多靶真空濺射或離子鍍膜機的滾鍍技術，目前大多處于小批試產階段，相對于產業化應用還有很多技術難題需要攻克，要提高臥式多靶真空濺射或離子鍍膜機的生產效率，在鍍膜機內設置的弧靶和濺射靶要盡可能的多，使鍍膜機單位時間內激發出來的鍍層離子盡可能多，并有效地濺射到被鍍工件表面，要求鍍膜機內的工件架保證所有工件能實現滾鍍效果，并且施鍍均勻，工件架的結構要避開各種弧靶和濺射靶的制約，鍍膜機與工件架的運動要有效傳遞，轉籠速度能隨工藝要求改變方便，一次裝料工件量要大，工件上下料要快捷，所以臥式多靶真空濺射或離子鍍膜機產業化應用的工件架有待深入研究和開發。

發明內容

本發明的目的是針對臥式多靶真空濺射或離子鍍膜機產業化應用要求而提供一種真空鍍膜機行星式工件架，該工件架整體進出鍍膜機方便，實現工件上下料快捷，與鍍膜機的運動傳遞可靠，能適應臥式多靶真空濺射或離子鍍膜機產業化應用的要求。

本發明為實現上述目的而采用的技術方案為：

一種真空鍍膜機行星式工件架，其特征在于：包括動力輸入機構、工件架外支架、轉籠行星架、轉籠驅動部件、容納工件的轉籠、傳動鏈輪和動力傳遞鏈條，轉籠行星架一端由固定在工件架外支架上的旋轉體支撐，轉籠行星架另一端旋轉中心由固定在工件架外支架上的旋轉軸承支撐，轉籠行星架至少安裝三組以上的轉籠驅動部件，每只轉籠驅動部件裝有轉籠鏈輪，動力傳遞鏈條與多個轉籠驅動部件的轉籠鏈輪嚙合的同時與固定在工件架外支架上的鏈輪嚙合，所述動力輸入機構驅動轉籠行星架轉動。

上述動力輸入機構通過齒輪嚙合帶動轉籠行星架進行公轉，使結構簡便易行。

上述傳動鏈輪有一個以上，每個鏈輪同軸排列且鏈輪的半徑不同，組成調速鏈輪組。

上述調速鏈輪組軸向可以移動，動力傳遞鏈條與調速鏈輪組中的鏈輪嚙合可以切換。由于設置動力傳遞鏈條與調速鏈輪組中的鏈輪嚙合，通過改變動力傳遞鏈條與調速鏈輪組中的鏈輪嚙合方式，可實現轉籠行星架公轉與轉籠自轉的轉速比的改變和轉籠的自轉方向的改變。當轉籠自轉速度為零時，轉籠行星架公轉一轉，此時轉籠以工件架外支架為參照系也相當于一轉，當轉籠的轉向與轉籠行星架公轉方向一致時，轉籠以工件架外支架為參照系的轉速等于轉籠行星架公轉的轉速加上轉籠自轉的轉速，這個轉速稱為轉籠的絕對轉速，轉籠的絕對轉速在鍍膜機施鍍工藝中主要用來控制轉籠內被鍍工件的翻滾頻次，轉籠行星架公轉的速度在鍍膜機施鍍工藝中，主要用來控制各轉籠相對于鍍膜機爐體內壁的弧靶和中心附近濺射靶位置改變的頻次，實現各轉籠施鍍條件等同化的目的，結合轉籠自轉轉速的配合實現被鍍工件施鍍條件等同化的目標，保證所有工件鍍層均勻。

上述動力傳遞鏈條的同一側面與多個轉籠驅動部件的鏈輪嚙合的同時與固定在工件架外支架上的鏈輪嚙合，使轉籠行星架公轉方向與轉籠自轉方向相反。還可以是：上述動力傳遞鏈條的同一側面與多個轉籠驅動部件的鏈輪嚙合的同時，動力傳遞鏈條的另一側面與固定在工件架外支架上的鏈輪嚙合，使轉籠行星架公轉方向與轉籠自轉方向相同。因此能實現轉籠自轉方向與轉籠行星架公轉的方向相反，可以很方便地實現轉籠的絕對轉速從零至工藝要求的轉速。當轉籠絕對轉速要求小于轉籠行星架公轉時，調整動力傳遞鏈條與調速鏈輪組中的鏈輪嚙合方式，使轉籠自轉方向與轉籠行星架公轉的方向相反。當轉籠絕對轉速要求大于轉籠行星架公轉時，調整動力傳遞鏈條與調速鏈輪組中的鏈輪嚙合方式，使轉籠自轉方向與轉籠行星架公轉的方向相同。

上述鏈輪至少有一個鏈條張緊器，隨時張緊動力傳遞鏈條，保證動力的順利傳遞。

上述轉籠行星架一端外徑的表面設一屏蔽擋板環包。上述轉籠行星架內齒輪表面設一屏蔽擋板環包，設置一屏蔽擋板環包轉籠行星架的所有鏈輪、動力傳遞鏈條、鏈條張緊器和調速鏈輪組，使這些部件免遭鍍層的污染。