[發明專利]一種真空鍍膜機行星式工件架

有效

• 申請號: 201310178241.0
• 申請日: 2013-05-15
• 公開（公告）號: CN103290382A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 周小平;楊慶忠
• 申請（專利權）人: 寧波韻升股份有限公司;寧波韻升機電設備有限公司;寧波韻升磁體元件技術有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 寧波天一專利代理有限公司 33207
• 代理人: 徐良江

1.一種真空鍍膜機行星式工件架，其特征在于：包括動力輸入機構、工件架外支架、轉籠行星架、轉籠驅動部件、容納工件的轉籠、傳動鏈輪和動力傳遞鏈條，轉籠行星架一端由固定在工件架外支架上的旋轉體支撐，轉籠行星架另一端旋轉中心由固定在工件架外支架上的旋轉軸承支撐，轉籠行星架至少安裝三組以上的轉籠驅動部件，每只轉籠驅動部件裝有轉籠鏈輪，動力傳遞鏈條與多個轉籠驅動部件的轉籠鏈輪嚙合的同時與固定在工件架外支架上的鏈輪嚙合，所述動力輸入機構驅動轉籠行星架轉動。

2.根據權利要求l所述的真空鍍膜機行星式工件架，其特征在于：所述動力輸入機構通過齒輪嚙合帶動轉籠行星架進行公轉。

3.根據權利要求l所述的真空鍍膜機行星式工件架，其特征在于：所述傳動鏈輪有一個以上，每個鏈輪同軸排列且鏈輪的半徑不同，組成調速鏈輪組。

4.根據權利要求3所述的真空鍍膜機行星式工件架，其特征在于：所述調速鏈輪組軸向可以移動，動力傳遞鏈條與調速鏈輪組中的鏈輪嚙合可以切換。

5.根據權利要求1所述的真空鍍膜機行星式工件架，其特征在于：所述動力傳遞鏈條的同一側面與多個轉籠驅動部件的鏈輪嚙合的同時與固定在工件架外支架上的鏈輪嚙合，使轉籠行星架公轉方向與轉籠自轉方向相反。

6.根據權利要求l所述的真空鍍膜機行星式工件架，其特征在于：所述動力傳遞鏈條的同一側面與多個轉籠驅動部件的鏈輪嚙合的同時，動力傳遞鏈條的另一側面與固定在工件架外支架上的鏈輪嚙合，使轉籠行星架公轉方向與轉籠自轉方向相同。

7.根據權利要求l、5、6所述的真空鍍膜機行星式工件架，其特征在于：所述鏈輪至少有一個鏈條張緊器。

8.根據權利要求2所述的真空鍍膜機行星式工件架，其特征在于：所述轉籠行星架一端外徑的表面設一屏蔽擋板，環包轉籠行星架一端外徑和旋轉體。

9.根據權利要求2所述的真空鍍膜機行星式工件架，其特征在于：所述轉籠行星架內齒輪表面設一屏蔽擋板環包，設置一屏蔽擋板環包轉籠行星架的所有鏈輪、動力傳遞鏈條、鏈條張緊器和調速鏈輪組。