[發(fā)明專利]一種基板加工裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310173579.7 | 申請日： | 2013-05-10 |
| 公開（公告）號： | CN103232157A | 公開（公告）日： | 2013-08-07 |
| 發(fā)明（設計）人： | 賈胡平 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | C03B33/02 | 分類號： | C03B33/02 |
| 代理公司： | 廣東廣和律師事務所 44298 | 代理人： | 劉敏 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 加工 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種基板加工裝置，其特征在于，所述基板加工裝置包括用于夾持基板的夾持組件及用于載置所述基板的支承組件，所述夾持組件與所述支承組件均具有驅動源。
2.根據(jù)權利要求1所述的基板加工裝置，其特征在于，所述夾持組件具有卡盤及驅動卡盤的第一電機。
3.根據(jù)權利要求2所述的基板加工裝置，其特征在于，所述第一電機為線性伺服電機。
4.根據(jù)權利要求1所述的基板加工裝置，其特征在于，所述支承組件具有承載所述基板的同步皮帶傳動機構及驅動所述同步皮帶傳動機構的第二電機。
5.根據(jù)權利要求4所述的基板加工裝置，其特征在于，所述第二電機為步進電機。
6.根據(jù)權利要求4所述的基板加工裝置，其特征在于，所述同步皮帶傳動機構包括傳動輪及架設在所述傳動輪上的同步皮帶。
7.根據(jù)權利要求1所述的基板加工裝置，其特征在于，所述基板加工裝置還包括控制器，所述控制器用于所述夾持組件的驅動源和所述支承組件的驅動源，使得所述夾持組件與所述支承組件在加工過程中同步運動。
8.根據(jù)權利要求1所述的基板加工裝置，其特征在于，所述基板為玻璃基板。
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