[發明專利]一種基板加工裝置

有效

• 申請號: 201310173579.7
• 申請日: 2013-05-10
• 公開（公告）號: CN103232157A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 賈胡平
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02
• 代理公司: 廣東廣和律師事務所 44298
• 代理人: 劉敏

技術領域

本發明屬于液晶平板顯示的制造技術的領域，尤其涉及一種基板加工裝置。

背景技術

目前，液晶電視、液晶電腦等平板顯示器越來越受到大眾的歡迎。在平板顯示器的制造產業的薄膜晶體管的制程(TFT?process)中，需要對玻璃基板進行鐳射切割等加工。傳統的切割方式中，通過卡盤(Chuck)將基板(Substrate)或條帶(Strip)夾持，并放置在無動力驅動的輥子(Roller)上。在該切割方式中，如圖4所示，加工順序大致為第一刀對齊(步驟S1)→第一刀切割(步驟S2)→第一刀回刀(步驟S3)→第二刀對齊(步驟S34)→第二刀切割(步驟S4)→第二刀回刀(步驟S5)，依此重復。每切割一刀對位一次，以保證切割精度。然而，每切割一刀對位一次的方式，會耗費大量工時。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種基板加工裝置，其無需每切割一刀對位一次，能夠節省加工時間。

本發明通過如下技術方案實現：一種基板加工裝置，其中，所述基板加工裝置包括用于夾持基板的夾持組件及用于載置所述基板的支承組件，所述夾持組件與所述支承組件均具有驅動源。

作為上述技術方案的進一步改進，所述夾持組件具有卡盤及驅動卡盤的第一電機。

作為上述技術方案的進一步改進，所述第一電機為線性伺服電機。

作為上述技術方案的進一步改進，所述支承組件具有承載所述基板的同步皮帶傳動機構及驅動所述同步皮帶傳動機構的第二電機。

作為上述技術方案的進一步改進，所述同步皮帶傳動機構包括傳動輪及架設在所述傳動輪上的同步皮帶。

作為上述技術方案的進一步改進，所述第二電機為步進電機。

作為上述技術方案的進一步改進，所述基板加工裝置還包括控制器，所述控制器用于所述夾持組件的驅動源和所述支承組件的驅動源，使得所述夾持組件與所述支承組件在加工過程中同步運動。

作為上述技術方案的進一步改進，所述基板為玻璃基板。

本發明的有益效果是：根據本發明的基板加工裝置，所述基板加工裝置包括用于夾持基板的夾持組件及用于載置所述基板的支承組件，且所述夾持組件與所述支承組件均具有驅動源，由此，可以通過所述夾持組件與所述支承組件各自的驅動源，驅動所述夾持組件與所述支承組件同步運動，使得基板相對于支承組件靜止，在加工過程中僅需進行一次對位，無需每切割一刀對位一次，能夠節省加工時間。

附圖說明

圖1是根據本發明的基板加工裝置的一個具體實施例的結構示意圖。

圖2是圖1的基板加工裝置的電氣結構示意框圖。

圖3是利用圖1的基板加工裝置進行的基板加工工藝的一部分的流程圖。

圖4是利用傳統基板加工裝置進行的基板加工工藝的一部分的流程圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明的具體實施方式進行進一步的說明。

本發明的基板加工裝置包括用于夾持基板100的夾持組件300及用于載置所述基板100的支承組件200，所述夾持組件300與所述支承組件200均具有驅動源。在本實施例中，其中，所述基板100例如可以為用于液晶電視的玻璃基板。

如圖1和圖2所示，所述夾持組件300具有卡盤302及驅動卡盤302的第一電機310。所述支承組件200具有承載所述基板100的同步皮帶傳動機構及驅動所述同步皮帶傳動機構的第二電機210。在進行切割等加工的初始，安裝在機臺上的加工工具102(例如加工刀具或激光鐳射頭等)與基板100上的加工位置對齊。

同步皮帶傳動機構包括傳動輪202及架設在所述傳動輪202上的同步皮帶204。同步皮帶204的寬度可以與基板100的寬度相當。傳動輪202在圖示實施例中可沿轉動方向R旋轉，帶動基板100平移。且本實施例中，所述第一電機310為線性伺服電機(Linear?Servo?Motor)，所述第二電機210為步進電機(Stepping?Motor)。

此外，如圖2所示，本實施例中，所述基板加工裝置還可以包括控制器10。所述控制器10用于所述夾持組件300的驅動源(第一電機310)和所述支承組件200的驅動源(第二電機210)，使得所述夾持組件300與所述支承組件200在加工過程中同步運動，從而保證基板100相對于支承組件200的同步皮帶204的傳動面保持靜止。即，在第一電機310驅動夾持有基板100的卡盤302沿平移方向X運動時，傳動輪202沿轉動方向R同步旋轉，基板100相對于支承組件200的同步皮帶204的傳動面保持靜止。所述基板為玻璃基板。