[發明專利]波長可變干涉濾波器、光學濾波器裝置、光學模塊及設備

在審

• 申請號: 201310169657.6
• 申請日: 2013-05-09
• 公開（公告）號: CN103424864A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 松下友紀
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

技術領域

本發明涉及波長可變干涉濾波器、光學濾波器裝置、光學模塊以及電子設備。

背景技術

現有技術中已知有一種波長可變干涉濾波器（例如參照專利文獻1），具有彼此相對的一對反射膜，通過改變該反射膜之間距離，從測定對象的光中獲取規定波長的光。

專利文獻1中記載的波長可變干涉濾波器（光共振器）包括：彼此相對的第一基板以及第二基板；分別設置于各基板且隔著反射膜之間間隙彼此相對的高反射膜；以及分別設置于各基板且彼此相對的電極。對于這種波長可變干涉濾波器，通過向電極間施加電壓，使第二基板變形而調整反射膜間間隙，由此能夠改變由波長可變干涉濾波器獲取的光的波長。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：特開平7-243963號公報

然而，在上述專利文獻1記載的波長可變干涉濾波器中，通過向電極間施加電壓，使第二基板撓曲，并向反射膜之間間隙變窄的方向驅動第二基板。因此，存在如下技術問題：為了獲取短波長側的光，當縮小反射膜之間間隙時，由于第二基板的撓曲和傾斜，透過波長可變干涉濾波器的光的半幅值隨著反射膜之間的縮小間隙而增大（分辨率降低）。

發明內容

本發明目的在于提供一種波長可變干涉濾波器、光學濾波器裝置、光學模塊以及電子設備，能夠適當地獲取設定的波段的光。

本發明用于解決上述技術問題，能夠作為以下方式或實施例而實現。

根據本發明的第一方面，本實施例涉及的波長可變干涉濾波器包括：第一基板；第二基板，與上述第一基板相對；第一反射膜，設置于上述第一基板的與上述第二基板相對的面；第二反射膜，設置于上述第二基板的與上述第一基板相對的面，隔著反射膜之間間隙與上述第一反射膜相對；以及間隙變更部，使上述第二基板向接近上述第一基板的方向撓曲，從而使上述第一反射膜與上述第二反射膜之間的上述反射膜之間間隙變化。上述第一反射膜以及上述第二反射膜具有對于第二波長的光的反射率大于對于第一波長的光的反射率的反射率特性，其中，上述第二波長小于上述第一波長。

在本實施例中，間隙變更部是包括設置于第一基板的第一電極、設置于第二基板的第二電極的靜電執行器。在該靜電執行器中，只要使電極間相對設置即可，能夠實現構成簡化，從而能夠實現波長可變干涉濾波器的小型化、薄型化。并且，僅僅通過改變電極間施加的電壓，就能夠容易地改變反射膜之間間隙，并能夠容易地進行反射膜之間間隙的間隙控制。

當通過間隙變更部使第二基板向使反射膜之間間隙縮小的方向撓曲時，由于第二基板的撓曲，第二反射膜也產生微小的撓曲。從而，在該波長可變干涉濾波器中，隨著縮小反射膜之間間隙，第二反射膜的撓曲增大，因此。波長可變干涉濾波器的光學特性（透過峰值波長的透過特性）隨著朝向短波長方向其半幅值增大。

此時，當將具有隨著朝向短波長側的方向反射率下降的反射特性的反射膜用作第一反射膜和第二反射膜時，由于由第二反射膜的撓曲產生的影響與由反射膜的反射特性產生的影響的組合效果，波長可變干涉濾波器的光學特性隨著朝向短波長側其半幅值進一步增大，從而短波長側的分辨率大幅度降低。而且，即使將具有對于各波長示出一定的反射率的反射特性的反射膜用作第一反射膜和第二反射膜時，由于因第二反射膜的撓曲而使分辨率降低，所以，短波長側的分辨率也降低。

與此相對，在本實施例中，將具有隨著朝向短波長側反射率上升的反射特性的反射膜用作第一反射膜以及第二反射膜。此時，因第二反射膜的撓曲而產生的影響與基于反射膜的反射特性的影響彼此抵消，即使是在使反射膜之間間隙變化的情況下，透過峰值波長的半幅值也大致相同。因此，波長可變干涉濾波器能夠使分辨率大致相同，而不受獲取的光的波長的影響。

根據本發明的第二方面，在上述實施例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選上述第一反射膜以及上述第二反射膜由AlAs構成。

在本實施例中使用AlAs作為第一反射膜以及第二反射膜。作為光學膜的AlAs，隨著朝向短波長側反射率上升，且對于包含可視光的較寬范圍具有反射特性。因此，通過波長可變干涉濾波器，對于較寬的波段，能夠以相同的分辨率獲取所需波長的光。

根據本發明的第三方面，在上述實施例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選第一波長為700nm，短波長為400nm。

在本實施例中，在可視區域中，上述第一反射膜以及上述第二反射膜具有隨著朝向短波長側反射率上升的反射特性。從而，通過波長可變干涉濾波器，對于包含可視光的較寬的波段，能夠以相同的分辨率獲取所需波長的光。