[發(fā)明專利]波長可變干涉濾波器、光學濾波器裝置、光學模塊及設備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310169657.6
• 申請日: 2013-05-09
• 公開（公告）號: CN103424864A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設計）人: 松下友紀
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，所述波長可變干涉濾波器包括：

第一基板；

第二基板，與所述第一基板相對；

第一反射膜，設置于所述第一基板的與所述第二基板相對的面；

第二反射膜，設置于所述第二基板的與所述第一基板相對的面，隔著反射膜之間間隙與所述第一反射膜相對；以及

間隙變更部，使所述第二基板向接近所述第一基板的方向撓曲，從而使所述第一反射膜與所述第二反射膜之間的所述反射膜之間間隙變化，

所述第一反射膜以及所述第二反射膜具有對于第二波長的光的反射率大于對于第一波長的光的反射率的反射率特性，其中，所述第二波長小于所述第一波長。

2.根據(jù)權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，所述第一反射膜以及所述第二反射膜由AlAs構成。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，所述第一波長為700nm，所述第二波長為400nm。

4.根據(jù)權利要求1或2所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，所述第一波長為2500nm，所述第二波長為700nm。

5.根據(jù)權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述第二基板包括：可動部，設置有所述第二反射膜；以及保持部，設置于所述可動部的外周部，且剛性小于所述可動部，

所述保持部的剛性相對于所述可動部的可動中心呈非對稱。

6.根據(jù)權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述第二基板包括：可動部，設置有所述第二反射膜；以及保持部，設置于所述可動部的外周部，且剛性小于所述可動部，

在從基板厚度方向觀看所述第一基板以及所述第二基板的俯視觀察中，所述間隙變更部設置于相對于所述可動部的可動中心呈非對稱的位置。

7.根據(jù)權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，

所述第二基板包括：接合部，與所述第一基板接合；以及撓曲部，通過由所述間隙變更部賦予的應力而向接近所述第一基板的方向撓曲，

所述第二反射膜設置于所述撓曲部。

8.根據(jù)權利要求7所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于，所述撓曲部具有相同的厚度尺寸。

9.一種光學濾波器裝置，其特征在于，所述光學濾波器裝置包括：

第一基板；

第二基板，與所述第一基板相對；

第一反射膜，設置于所述第一基板的與所述第二基板相對的面；

第二反射膜，設置于所述第二基板的與所述第一基板相對的面，隔著反射膜之間間隙與所述第一反射膜相對；

間隙變更部，使所述第二基板向接近所述第一基板的方向撓曲，從而使所述第一反射膜和所述第二反射膜之間的所述反射膜之間間隙變化；以及

殼體，用于容納所述第一基板和所述第二基板，

所述第一反射膜以及所述第二反射膜具有對于第二波長的光的反射率大于對于第一波長的光的反射率的反射率特性，其中，所述第二波長小于所述第一波長。

10.一種光學模塊，其特征在于，所述光學模塊包括：

第一基板；

第二基板，與所述第一基板相對；

第一反射膜，設置于所述第一基板的與所述第二基板相對的面；

第二反射膜，設置于所述第二基板的與所述第一基板相對的面，隔著反射膜之間間隙與所述第一反射膜相對；

間隙變更部，使所述第二基板向接近所述第一基板的方向撓曲，從而使所述第一反射膜與所述第二反射膜之間的所述反射膜之間間隙變化；以及

受光部，用于接受透過所述第一反射膜或所述第二反射膜的光，

所述第一反射膜以及所述第二反射膜具有對于第二波長的光的反射率大于對于第一波長的光的反射率的反射率特性，其中，所述第二波長小于所述第一波長。