[發(fā)明專利]半導(dǎo)體設(shè)備的工藝任務(wù)處理方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310163724.3
• 申請(qǐng)日: 2013-05-07
• 公開（公告）號(hào): CN104142632A
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高建強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G05B19/04
• 分類號(hào): G05B19/04
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 陳振

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造控制領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備的工藝任務(wù)處理方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體制造過(guò)程中的工藝任務(wù)（Job）中的工藝表單（Recipe），包含加工過(guò)程中所需的多個(gè)步驟，每個(gè)步驟包含各種工藝參數(shù)的數(shù)值以及與該步驟相關(guān)的某些參數(shù)設(shè)定和步驟持續(xù)時(shí)間等信息。在自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中，設(shè)備依據(jù)Recipe完成對(duì)物料的加工。產(chǎn)品的質(zhì)量可通過(guò)調(diào)整工藝表單來(lái)改進(jìn)，所以一種先進(jìn)的半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe處理系統(tǒng)和方法對(duì)提升產(chǎn)品價(jià)值有著非常重要的作用。尤其是在半導(dǎo)體制造生產(chǎn)業(yè)中,Recipe要盡量做到安全，防止誤刪、誤改或惡意破壞，以免對(duì)生產(chǎn)造成損失。

半導(dǎo)體行業(yè)的SEMI?E42標(biāo)準(zhǔn)，即工藝表單處理標(biāo)準(zhǔn)（Recipe?Management?Standard）對(duì)工藝表單的概念（Concepts）、操作（Operations）和服務(wù)（Services）進(jìn)行了設(shè)置，在Recipe的操作（Operations）中包含開始、暫停、恢復(fù)和終止等操作。典型的半導(dǎo)體設(shè)備工藝任務(wù)處理系統(tǒng)為：上位機(jī)與工廠主機(jī)通信，接收和執(zhí)行工廠主機(jī)下發(fā)的生產(chǎn)指令，上位機(jī)同時(shí)負(fù)責(zé)將設(shè)備的運(yùn)行時(shí)信息反饋給工廠主機(jī)；上位機(jī)向下與下位機(jī)通信，指揮并協(xié)調(diào)下位機(jī)控制半導(dǎo)體設(shè)備工作。上位機(jī)可以遠(yuǎn)程實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝表單的處理，包括：創(chuàng)建、修改、校驗(yàn)、刪除等操作。下位機(jī)根據(jù)工藝表單將各個(gè)工藝參數(shù)分發(fā)下放到設(shè)備的各個(gè)部件中，實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備的物料傳輸控制和工藝控制。

一般情況下，當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備開始執(zhí)行工藝任務(wù)后，工藝過(guò)程中用戶不能對(duì)工藝表單進(jìn)行任何的調(diào)整，只能被動(dòng)地等待工藝表單完成或中途選擇終止工藝。但隨著各種先進(jìn)的設(shè)備監(jiān)測(cè)工具的引入，用戶可以觀察到工藝過(guò)程中反應(yīng)腔中氣體流量、溫度、壓力等物理量的實(shí)時(shí)變化。當(dāng)發(fā)現(xiàn)某些指標(biāo)不滿足要求，從而可能影響產(chǎn)品良率時(shí)，用戶需要根據(jù)工藝曲線對(duì)工藝表單的相關(guān)參數(shù)進(jìn)行微小的調(diào)整，以達(dá)到更佳的工藝結(jié)果。

現(xiàn)有的半導(dǎo)體的工藝任務(wù)處理方法提供了在工藝過(guò)程中對(duì)未執(zhí)行的后續(xù)工藝任務(wù)進(jìn)行調(diào)整的功能，用戶通過(guò)觀察監(jiān)測(cè)的工藝參數(shù)的變化結(jié)果，來(lái)暫停和恢復(fù)工藝過(guò)程的執(zhí)行。具體調(diào)整過(guò)程為：當(dāng)遇到特殊情況或用戶想更改工藝表單時(shí)，用戶需要首先選擇暫停當(dāng)前工藝表單的執(zhí)行，工藝計(jì)時(shí)停止，反應(yīng)腔中氣體流量、溫度、壓力等物理量將保持狀態(tài)不變；待用戶重新對(duì)未執(zhí)行的后續(xù)工藝參數(shù)進(jìn)行修改后，再選擇恢復(fù)執(zhí)行，工藝計(jì)時(shí)繼續(xù)開始，恢復(fù)到暫停前的工藝狀態(tài)繼續(xù)執(zhí)行；用戶重新調(diào)整后的工藝表單，將在繼續(xù)執(zhí)行的過(guò)程中體現(xiàn)。然而，在用戶對(duì)工藝表單進(jìn)行調(diào)整的過(guò)程中，即工藝暫停階段，由于反應(yīng)腔中的各物理量（如氣體流量、溫度、壓力等）將保持狀態(tài)不變，若用戶對(duì)工藝表單調(diào)整的時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，則氣體的流量、溫度和壓力等的狀態(tài)勢(shì)必影響產(chǎn)品的質(zhì)量，繼而影響后續(xù)的工藝過(guò)程。另外，工藝暫停階段也會(huì)造成工藝氣體的浪費(fèi)等生產(chǎn)成本的增加，以及減少感應(yīng)加熱線圈、泵等關(guān)鍵設(shè)備部件的使用壽命。在用戶了解到工藝暫停可能增加生產(chǎn)成本和縮短設(shè)備部件的使用壽命，用戶一般都會(huì)盡量縮短工藝表單的調(diào)整時(shí)間，這也在一定程度上影響用戶的體驗(yàn)。最后，由于用戶進(jìn)行工藝表單微調(diào)的時(shí)間具有不確定性，這也使得整個(gè)工藝過(guò)程的計(jì)時(shí)具有不確定性。

發(fā)明內(nèi)容

基于上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備的工藝任務(wù)處理方法及系統(tǒng)，其有效提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的而提供的一種半導(dǎo)體設(shè)備的工藝任務(wù)處理方法，包括以下步驟：

在工藝任務(wù)處理過(guò)程中，上位機(jī)接收用戶的工藝表單編輯指令后，在線讀取原工藝表單；

對(duì)所述原工藝表單中的內(nèi)容進(jìn)行解析，檢測(cè)出所述原工藝表單中需要修改的指定步數(shù)，并判斷所述原工藝表單中所述需要修改的指定步數(shù)是否未執(zhí)行；

在判斷出所述原工藝表單中的需要修改的指定步數(shù)未執(zhí)行后，修改所述原工藝表單中的指定步數(shù)的指定參數(shù)；

將修改所述指定參數(shù)后的工藝表單作為新工藝表單發(fā)送給相應(yīng)的下位機(jī)，控制下位機(jī)根據(jù)修改后的所述新工藝表單，將各個(gè)工藝參數(shù)分發(fā)下放到設(shè)備的各個(gè)部件中，各個(gè)部件根據(jù)所述新工藝表單進(jìn)行工藝任務(wù)處理。

較優(yōu)地，在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述對(duì)原工藝表單中的內(nèi)容進(jìn)行解析，檢測(cè)出所述原工藝表單中需要修改的指定步數(shù)，包括以下步驟：

若檢測(cè)所述原工藝表單中沒(méi)有需要修改的指定步數(shù)，則結(jié)束任務(wù)返回；

所述判斷所述原工藝表單中所述需要修改的指定步數(shù)是否執(zhí)行之后，還包括以下步驟：

若判斷所述原工藝表單中的指定步數(shù)已經(jīng)執(zhí)行或者正在執(zhí)行，則結(jié)束任務(wù)返回。