[發明專利]檢查機

無效

• 申請號: 201310162952.9
• 申請日: 2013-05-06
• 公開（公告）號: CN103389305A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 濱砂智訓
• 申請（專利權）人: 新東超精密有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 金龍河;車文

技術領域

本發明涉及檢查有機材料的蒸鍍狀態的檢查機。

背景技術

以往，公知有在玻璃基板上蒸鍍有機材料來制造有機EL顯示裝置的有機EL顯示裝置的制造方法（例如，參照專利文獻1）。

專利文獻1：日本特開2010－272300號公報

發明內容

于是，在使用上述的有機EL顯示裝置的制造方法來制造有機EL顯示裝置的情況下，需要檢查在玻璃基板上所蒸鍍的有機材料的蒸鍍狀態。在這種情況下，對有機材料照射紫外光（以下，稱為UV光），在使有機材料發光的狀態下進行蒸鍍狀態的檢查。

但是，當對有機材料照射UV光時，有機材料與空氣中的氧發生反應而劣化。因此有機材料不發光，不能穩定地檢查蒸鍍狀態。

本發明的目的在于，提供能夠穩定地檢查有機材料的蒸鍍狀態的檢查機。

本發明的檢查機的特征在于，具備：物鏡，以規定的倍率觀察真空室內的有機材料；照射部，射出對上述有機材料進行照射的紫外光；及攝像部，經由上述物鏡拍攝在被照射上述紫外光的狀態下的上述有機材料的像。

而且，本發明的檢查機的特征在于，具備照明部，該照明部射出對上述有機材料進行照明的可見光，上述攝像部經由上述物鏡拍攝在被上述可見光照明的狀態下的上述有機材料的像。

而且，本發明的檢查機的特征在于，上述照射部經由上述物鏡射出上述紫外光。

而且，本發明的檢查機的特征在于，上述照明部經由上述物鏡射出上述可見光。

而且，本發明的檢查機的特征在于，上述真空室具備能夠從外部觀察真空室內的觀察窗，上述物鏡經由上述觀察窗從外部觀察上述有機材料。

而且，本發明的檢查機的特征在于，上述照射部及上述照明部經由上述觀察窗對上述有機材料射出紫外光及可見光。

根據本發明的檢查機，能夠穩定地檢查有機材料的蒸鍍狀態。

附圖說明

圖1是從側面觀察實施方式所涉及的檢查機而得到的圖。

圖2是表示作為實施方式所涉及的檢查機的檢查對象物的有機EL面板的圖。

圖3是表示具備實施方式所涉及的檢查機的蒸鍍裝置的結構的圖。

圖4是表示使由實施方式所涉及的檢查機所檢查的有機材料發光并由可見光進行照明的狀態的圖。

圖5是從側面觀察實施方式所涉及的其他檢查機而得到的圖。

圖6是從側面觀察實施方式所涉及的其他檢查機而得到的圖。

附圖標記說明

2…檢查機

3…鏡筒

4…物鏡

8…相機

12…UV光源

14…可見光源

16…分色鏡

18…半透半反鏡

20…有機EL面板

22…玻璃基板

24…有機材料

25…TFT層

28…TFT開口部

30…蒸鍍裝置

31…腔

36…檢查窗

具體實施方式

以下，參照附圖，關于本發明的實施方式所涉及的檢查機，以有機EL顯示裝置的制造工序中所用的檢查機為例進行說明。圖1是從側面觀察實施方式所涉及的檢查機而得到的圖。如圖1所示，檢查機2在鏡筒3的一端部具備以規定的倍率觀察作為檢查對象物的有機EL面板20（參照圖2）的物鏡4，在鏡筒3的另一端部具備拍攝通過物鏡4觀察的有機EL面板20的像的相機8。而且，在鏡筒3的側面設置有射出對有機EL面板20進行照射的UV光的UV光源12及射出對有機EL面板20進行照明的可見光的可見光源14。而且，在鏡筒3的內部具備反射UV光而透過可見光的分色鏡16及半透半反鏡18。

此處，從UV光源12射出的UV光被分色鏡16反射之后，經由物鏡4照射有機EL面板20。而且，從可見光源14射出的可見光被半透半反鏡18反射之后，透過分色鏡16并經由物鏡4對有機EL面板20進行照明。另外，來自有機EL面板20的光在入射到物鏡4之后，透過分色鏡16及半透半反鏡18而成像于未圖示的攝像元件，并由相機8拍攝成像于攝像元件的像。

接著，參照圖2，對作為實施方式所涉及的檢查機2的檢查對象物的有機EL面板20進行說明。圖2（a）是從物鏡4側觀察有機EL面板20而得到的圖。如圖2（a）所示，在玻璃基板22上所蒸鍍的有機材料24由具有紅色有機材料24r、綠色有機材料24g及藍色有機材料24b三種不同的發光色的有機材料所構成。