[發明專利]檢查機無效
| 申請號： | 201310162952.9 | 申請日： | 2013-05-06 |
| 公開（公告）號： | CN103389305A | 公開（公告）日： | 2013-11-13 |
| 發明（設計）人： | 濱砂智訓 | 申請（專利權）人： | 新東超精密有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/84 | 分類號： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 金龍河;車文 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢查 | ||
【權利要求書】：
1.一種檢查機，其特征在于，具備：
物鏡，以規定的倍率觀察真空室內的有機材料；
照射部，射出對所述有機材料進行照射的紫外光；及
攝像部，經由所述物鏡拍攝被所述紫外光照射狀態下的所述有機材料的像。
2.根據權利要求1所述的檢查機，其特征在于，
具備照明部，射出對所述有機材料進行照明的可見光，
所述攝像部經由所述物鏡拍攝被所述可見光照明狀態下的所述有機材料的像。
3.根據權利要求1或2所述的檢查機，其特征在于，
所述照射部經由所述物鏡射出所述紫外光。
4.根據權利要求2或3所述的檢查機，其特征在于，
所述照明部經由所述物鏡射出所述可見光。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的檢查機，其特征在于，
所述真空室具備能夠從外部觀察真空室內的觀察窗，
所述物鏡經由所述觀察窗從外部觀察所述有機材料。
6.根據權利要求5所述的檢查機，其特征在于，
所述照射部及所述照明部經由所述觀察窗對所述有機材料射出紫外光及可見光。
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