[發明專利]電磁蒸鍍裝置

在審

• 申請號: 201310159305.2
• 申請日: 2013-05-02
• 公開（公告）號: CN104131251A
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 李嘉宸;黃添旺
• 申請（專利權）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

技術領域

本發明涉及OLED蒸鍍裝置，確切的說，具體涉及一種電磁蒸鍍裝置。

背景技術

OLED，即有機發光二極管（Organic?Light-Emitting?Diode），又稱為有機電激光顯示（Organic?Electroluminesence?Display,OELD）。OLED具有自發光的特性，采用非常薄的有機材料涂層和硬質基板制程，當電流通過時，有機材料就會發光，而且OLED顯示屏幕可視角度大，并且能夠顯著節省電能，得到了廣泛使用。隨著人們對OLED的需求日益增長，對OLED的工藝要求也越來越高，在OLED技術中，封裝向上成膜技術是一項非常重要和關鍵的技術，該技術直接影響OLED產品的質量和制造成本，傳統技術一般采用蒸鍍方法進行鍍膜工藝。

圖1為傳統技術中熱蒸鍍裝置的俯視圖；如圖1所示，夾持框上放置有多塊永磁鐵，且為橫向或縱向排列于夾持框上，形成橫向或縱向的第一永磁區S1，第二永磁區S2，第三永磁區S3，第四永磁區S4，第五永磁區S5和第六永磁區S6，即通過永磁鐵來吸附金屬遮罩進行蒸鍍工藝。

圖2為傳統技術中進行熱蒸鍍裝置的側視圖；如圖2所示，反應腔室4內設置有一蒸發源5，蒸發源5的上方自下而上順序依次設置有金屬遮罩3、硬質基板2和夾持框1，夾持框1上設置有橫向或縱向放置的多塊永磁鐵，以形成橫向或縱向排列的第一永磁區S1，第二永磁區S2，第三永磁區S3，第四永磁區S4，第五永磁區S5和第六永磁區S6。

結合圖1和圖2所示的結構可知，當進行蒸鍍工藝時，蒸發源5噴射出的有機氣源在硬質基板表面生成一層薄膜，但隨著蒸鍍工藝的進行，金屬遮罩3上也容易沉積較多的有機顆粒，由于金屬遮罩3是用張網機固定于硬質基板2的下表面，其張力面積隨著金屬遮罩中心位置而有所差異，越接近金屬遮罩中心張力越弱，同時由于永久磁鐵無法調整各磁區的磁力強度來控制金屬遮罩3張力，進而導致金屬遮罩3中心部位容易產生下垂（如圖2所示），從而造成金屬遮罩3無法很好緊貼于硬質基板2上，在蒸鍍工藝過程中易造成混色情況的發生，影響產品良率。

中國專利（公開號：CN1426118A）公開了一種制作電致發光顯示器的、使用電磁鐵的蒸鍍裝置及采用此裝置的蒸鍍方法，其特征為：其結構包括有真空容器、蔭罩板夾具、蔭罩板安放工作臺、光學排列判定裝置、直線導向裝置、和控制部件；蔭罩板夾具裝在真空室上部，帶有用于把排好的蔭罩板緊貼在玻璃基片上的永磁鐵；蔭罩板安放工作臺為了放置蔭罩板而設置在蔭罩板夾具下部，包括有用控制部件進行控制的3軸位置移動裝置，控制部件用于把上面的玻璃基片和被放置的玻璃基片進行排列而與外部連接；光學排列判定裝置是用于確認所述玻璃基片和蔭罩板排列狀態；直線導向裝置用于在真空室內使所述蔭罩板安放工作臺左右移動；控制部件設置在真空室外，用來控制所述3軸位置移動裝置的位置、直線導向裝置、加在電磁鐵上的電流極性和面積。

其中，該專利文獻公開的蒸鍍設備的電磁鐵呈條狀分布，并不能對蒸鍍裝置中心部位磁鐵的磁力強度進行控制，在進行蒸鍍工藝時，由于蔭罩板沉積較多的有機物，進而導致其中心處的蔭罩板下垂，從而在鍍膜過程中產生混色的問題，影響產品良率；同時該技術方案也不能夠對電磁鐵的磁力強度進行實時監控控制，進而滿足不同工藝的需求，故而該發明在實際應用中具有一定的局限性。

發明內容

本發明根據現有技術中的不足提供了一種電磁蒸鍍裝置，通過將傳統蒸鍍裝置上放置的永磁鐵替換為電磁鐵，同時將電磁鐵呈矩形陣列分布形成多個磁區，并在每個電磁區的上方設置有傳感器實時監控各個電磁區的磁力強度并轉化為電流信號傳輸至可編程控制設備，可編程控制設備根據接收到的磁力強度信號和金屬遮罩變形情況等工藝參數，實時調整各個電磁區的磁力強度，進而使得電磁鐵更好的吸附金屬遮罩，以使得金屬遮罩緊密的與硬質基板貼合，以達到更好的鍍膜效果。

本發明采用的技術方案為：

一種電磁蒸鍍裝置，應用于一硬質基板的封裝工藝中，所述電磁蒸鍍裝置包括金屬遮罩和夾持框，其中，還包括多個電磁鐵單元和可編程控制設備；

所述多個電磁鐵單元均固定設置在所述夾持框上，且所述可編程控制設備分別與每個電磁鐵單元電連接，以控制每個電磁鐵單元的磁極性及磁性強度。

上述的電磁蒸鍍裝置，其中，所述電磁蒸鍍裝置還包括一成膜材料的蒸發源，所述蒸發源設置于所述硬質基板的下方。

上述的電磁蒸鍍裝置，其中，所述夾持框固定設置于所述蒸發源的上方，且該夾持框吸附所述金屬遮罩，以固定位于所述金屬遮罩與所述磁性夾持框之間的所述硬質基板。