[發明專利]電磁蒸鍍裝置在審
| 申請號： | 201310159305.2 | 申請日： | 2013-05-02 |
| 公開（公告）號： | CN104131251A | 公開（公告）日： | 2014-11-05 |
| 發明（設計）人： | 李嘉宸;黃添旺 | 申請（專利權）人： | 上海和輝光電有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201506 上海市金山區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電磁 裝置 | ||
1.一種電磁蒸鍍裝置，應用于一硬質基板的封裝工藝中，所述電磁蒸鍍裝置包括金屬遮罩和夾持框，其特征在于，還包括多個電磁鐵單元和可編程控制設備；
所述多個電磁鐵單元均固定設置在所述夾持框上，且所述可編程控制設備分別與每個電磁鐵單元電連接，以控制每個電磁鐵單元的磁極性及磁性強度。
2.根據權利要求1所述的電磁蒸鍍裝置，其特征在于，所述電磁蒸鍍裝置還包括一成膜材料的蒸發源，所述蒸發源設置于所述硬質基板的下方。
3.根據權利要求2所述的電磁蒸鍍裝置，其特征在于，所述夾持框固定設置于所述蒸發源的上方，且該夾持框吸附所述金屬遮罩，以固定位于所述金屬遮罩與所述磁性夾持框之間的所述硬質基板。
4.根據權利要求1所述的電磁蒸鍍裝置，其特征在于，所述可編程控制設備控制所述多個電磁鐵單元的磁極性，以形成多個電磁區，且該多個電磁區形成陣列式矩陣回形結構。
5.根據權利要求4所述的電磁蒸鍍裝置，其特征在于，所述陣列式矩陣回形結構中相鄰的兩個電磁區的磁極性相反。
6.根據權利要求4所述的電磁蒸鍍裝置，其特征在于，每個所述電磁區上方設置均有磁力傳感器。
7.根據權利要求6所述的電磁蒸鍍裝置，其特征在于，所述磁力傳感器與所述可編程控制設備相連接，所述磁力傳感器將各個所述電磁區的磁力強度傳送至所述可編程控制設備。
8.根據權利要求7所述的電磁蒸鍍裝置，其特征在于，所述磁力傳感器將各個所述電磁區的磁力強度轉化為電流信號傳送至所述可編程控制設備。
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