[發明專利]一種偏差補正方法和裝置

在審

• 申請號: 201310153820.X
• 申請日: 2013-04-27
• 公開（公告）號: CN104122770A
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 張思凱;汪棟;黎敏;姜晶晶;吳洪江
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G03G15/04
• 分類號: G03G15/04;G03G15/00
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 張穎玲;張振偉

技術領域

本發明涉及液晶領域，具體涉及一種偏差補正方法和裝置。

背景技術

目前液晶顯示領域多采用分步式曝光方式，曝光過程中，曝光機配合掩膜板在玻璃基板上形成圖形。通常，形成的圖形的實際位置會與設計圖形有偏差，為了使形成的圖形與設計圖形一致，需要對曝光機進行偏差補正。

目前通用的偏差補正方式為四點四邊偏差補正方式，補正值包括X方向，Y方向以及旋轉角度θ補正三項。此處設置X方向補正值為ΔX，Y方向補正值為ΔY，θ方向的補正值為Δθ。如圖1所示，在坐標系中，假設設計圖形的四個角上的A，B，C，D四點的坐標分別為(x1，y1)，(x2，y2)，(x3，y3)，(x4，y4)。實際曝光后形成的圖形的四個角上的A’，B’，C’，D’四點的坐標分別為(x1’，y1’)，(x2’，y2’)，(x3’，y3’)，(x4’，y4’)。

ΔX和ΔY的計算方法相似，計算方法如下式所示：

Δx=(x1′+x2′+x3′+x4′)-(x1+x2+x3+x4)4;]]>Δy=(y1′+y2′+y3′+y4′)-(y1+y2+y3+y4)4;]]>

Δθ的計算方法為先分別計算A’B’與AB的夾角θ₁，B’C’與BC的夾角θ₂，C’D’與CD的夾角θ₃，A’D’與AD的夾角θ₄，再計算上述四個夾角的平均值。計算方式如下：