[發明專利]一種偏差補正方法和裝置在審
| 申請號： | 201310153820.X | 申請日： | 2013-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN104122770A | 公開（公告）日： | 2014-10-29 |
| 發明（設計）人： | 張思凱;汪棟;黎敏;姜晶晶;吳洪江 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | G03G15/04 | 分類號： | G03G15/04;G03G15/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270 | 代理人： | 張穎玲;張振偉 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 偏差 補正 方法 裝置 | ||
1.一種偏差補正方法，其特征在于，該方法包括：
計算曝光后形成的圖形上至少一個點在X和Y方向上的位移偏移量，還計算所述圖形上至少一條對角線的旋轉角度偏移量；根據得到的位移偏移量以及旋轉角度偏移量進行偏差補正。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，
在只計算所述圖形上一個點在X和Y方向上的位移偏移量的情況下，將該點在X和Y方向上的位移偏移量作為整個圖形的位移偏移量；或，
在計算所述圖形上兩個或兩個以上的點在X和Y方向上的位移偏移量的情況下，計算其中的兩個、三個或多個甚至全部點在X和Y方向上的位移偏移量，并對得到的相應兩個、三個或多個甚至全部點在X和Y方向上的位移偏移量求平均，將得到的平均值作為整個圖形的位移偏移量。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，
在只計算所述圖形中一條對角線的旋轉角度偏移量的情況下，將該對角線的旋轉角度偏移量作為整個圖形的旋轉角度偏移量；或，
當所述圖形包括多條對角線時，計算其中的兩條、三條或多條甚至全部對角線的旋轉角度偏移量，并對得到的相應兩條、三條或多條甚至全部對角線的旋轉角度偏移量求平均，將得到的平均值作為整個圖形的旋轉角度偏移量。
4.根據權利要求1至3任一項所述的方法，其特征在于，基于向量夾角的數學計算方法計算對角線的旋轉角度偏移量。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述圖形上的點是該圖形上兩條邊相交的點或其它位置上的點。
6.一種偏差補正裝置，其特征在于，該裝置包括偏差補正單元、執行單元；其中，
所述偏差補正單元，用于計算曝光后形成的圖形上至少一個點在X和Y方向上的位移偏移量，還計算所述圖形上至少一條對角線的旋轉角度偏移量；
所述執行單元，用于根據所述偏差補正單元得到的位移偏移量以及旋轉角度偏移量進行偏差補正。
7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述偏差補正單元包括位移偏差補正單元，用于：
在只計算所述圖形上一個點在X和Y方向上的位移偏移量的情況下，將該點在X和Y方向上的位移偏移量作為整個圖形的位移偏移量；或，
在計算所述圖形上兩個或兩個以上的點在X和Y方向上的位移偏移量的情況下，計算其中的兩個、三個或多個甚至全部點在X和Y方向上的位移偏移量，并對得到的相應兩個、三個或多個甚至全部點在X和Y方向上的位移偏移量求平均，將得到的平均值作為整個圖形的位移偏移量。
8.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述偏差補正單元包括旋轉角度偏差補正單元，用于：
在只計算所述圖形中一條對角線的旋轉角度偏移量的情況下，將該對角線的旋轉角度偏移量作為整個圖形的旋轉角度偏移量；或，
當所述圖形包括多條對角線時，計算其中的兩條、三條或多條甚至全部對角線的旋轉角度偏移量，并對得到的相應兩條、三條或多條甚至全部對角線的旋轉角度偏移量求平均，將得到的平均值作為整個圖形的旋轉角度偏移量。
9.根據權利要求6至8任一項所述的裝置，其特征在于，所述偏差補正單元用于基于向量夾角的數學計算方法計算對角線的旋轉角度偏移量。
10.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述圖形上的點是該圖形上兩條邊相交的點或其它位置上的點。
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