[發明專利]一種線列式多片傳輸系統及使用其的薄膜沉積設備

有效

• 申請號: 201310149342.5
• 申請日: 2013-04-26
• 公開（公告）號: CN104120401B
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 張超;梁敏敏;彭侃
• 申請（專利權）人: 漢能聯創移動能源投資有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/54
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司11252
• 代理人: 周放,張春雨

技術領域

本發明涉及一種基材傳輸系統，具體地講是涉及一種可一次傳輸多片基材的傳輸系統及使用其的薄膜沉積設備。

背景技術

線列式薄膜沉積設備是一種應用廣泛的薄膜沉積生產設備，現有的線列式薄膜沉積設備的工作過程為：通過人工或者機械手將需要鍍膜的基板放到進載臺上，進載臺根據設備的工藝進行狀況，按時將玻璃送入預處理腔進行預處理，然后由預處理腔送入沉積腔內完成薄膜的沉積，完成沉積之后的基板被送入冷卻腔進行冷卻，冷卻完成的基板被送入到出載臺，出載臺再將基板送入回傳模塊中，經回傳模塊送回進載臺，最后由人工或者機械手將成品取出。現有的線列式薄膜沉積設備每次只能將一片玻璃送入到進載臺，當多臺設備同時工作時，則需要多人或者多臺機械手配合工作以保證正常生產，不利于節約生產成本和提高生產效率。

發明內容

本發明的目的是提供一種能大幅提高生產效率、降低生產成本的線列式多片傳輸系統及使用其的薄膜沉積設備。

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種線列式多片傳輸系統，包括支撐架和兩個以上線列式的裝載單元，所述裝載單元包括相互固連的承載支架和支架傳送裝置，所述支架傳送裝置滑動內嵌于所述支撐架內，所述支架傳送裝置帶動所述承載支架做線性運動；且在所述支撐架上設有檢測處于兩端的所述裝載單元裝載狀況的光電傳感器。該所述線列式多片傳輸系統可以一次運輸多片基材，一個系統可以對應多個進載臺的工作，可有效提高基材的運輸效率、降低生產成本。

進一步地，為了監控每一個所述裝載單元內的工件的具體情況，在所述裝載單元上設有用于檢測工件安全狀況的輔助光電傳感器。

本發明還公開了一種使用上述線列式多片傳輸系統的薄膜沉積設備，包括上片機、進載臺、預處理腔、沉積腔、冷卻腔、出載臺和下片機，在所述上片機和所述進載臺之間設有所述線列式多片傳輸系統，所述線列式多片傳輸系統中的所述裝載單元由所述上片機向所述進載臺運動，且在所述線列式多片傳輸系統的所述支撐架上設有檢測所述裝載單元運動狀態的限位傳感器。

進一步地，為了提高加工后的成品的取出效率，在所述出載臺和所述下片機之間設有所述線列式多片傳輸系統，所述線列式多片傳輸系統中的所述裝載單元由所述出載臺向所述下片機運動。

本發明的線列式多片傳輸系統由于包括多個裝載單元，可一次性運輸多片基板，從而可以實現利用一個所述線列式多片傳輸系統對應多個進載臺的工作模式，且結構簡單，可大大降低人工或機械成本、有效提高工作效率，并通過所述光電傳感器檢測處于兩端的所述承載支架的裝載狀況，從而有效保證系統工作的可靠性；將所述線列式多片傳輸系統應用在薄膜沉積設備上，可有效提高設備的進片和出片效率，大幅降低生產成本，且實用性強，具有廣闊的應用前景。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明。

圖1是本發明所述的線列式多片傳輸系統的結構示意圖；

圖2是本發明所述的線列式多片傳輸系統的支架傳送裝置的局部結構示意圖；

圖3是本發明所述的使用所述線列式多片傳輸系統的薄膜沉積設備的原理示意圖，

圖中：

1、支撐架；2、承載支架；3、支架傳送裝置；4、光電傳感器；5、輔助光電傳感器；6、驅動電機；7、承載支架滾動輪；8、承載支架導軌；9、支架連接器；10、工件。

具體實施方式

實施例1

如圖1、圖2所示的線列式多片傳輸系統，包括支撐架1和兩個以上線列式的裝載單元，所述裝載單元包括相互固連的承載支架2和支架傳送裝置3，所述支架傳送裝置3滑動內嵌于所述支撐架1內，所述支架傳送裝置3帶動所述承載支架2做線性運動；且在所述支撐架1上設有檢測處于兩端的所述裝載單元裝載狀況的光電傳感器4。為了監控每一個所述裝載單元內的工件10的具體情況，在所述裝載單元上還設有用于檢測所述工件10安全狀況的輔助光電傳感器5。

其中，所述支架傳送裝置3的動力由驅動電機6提供，所述承載支架2的背部安裝有承載支架滾動輪7，所述承載支架滾動輪7在承載支架導軌8上滑動，從而保證承載支架2的流暢、穩定運動。所述承載支架2是通過支架連接器9固定于所述支架傳送裝置3上的，工件10置于所述承載支架2上。

實施例2