[發(fā)明專利]一種線列式多片傳輸系統(tǒng)及使用其的薄膜沉積設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310149342.5
• 申請日: 2013-04-26
• 公開（公告）號: CN104120401B
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張超;梁敏敏;彭侃
• 申請（專利權(quán)）人: 漢能聯(lián)創(chuàng)移動能源投資有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/54
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司11252
• 代理人: 周放,張春雨

1.一種線列式多片傳輸系統(tǒng)，其特征在于:包括支撐架(1)和兩個以上線列式的裝載單元，所述裝載單元包括相互固連的承載支架(2)和支架傳送裝置(3)，所述支架傳送裝置(3)滑動內(nèi)嵌于所述支撐架(1)內(nèi)，所述支架傳送裝置(3)帶動所述承載支架(2)做線性運動；且在所述支撐架(1)上設(shè)有檢測處于兩端的所述裝載單元裝載狀況的光電傳感器(4)；

所述承載支架(2)的背部設(shè)有承載支架滾動輪(7)，所述承載支架滾動輪(7)與承載支架導(dǎo)軌(8)滑動配合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線列式多片傳輸系統(tǒng)，其特征在于:在所述裝載單元上設(shè)有用于檢測工件(10)安全狀況的輔助光電傳感器(5)。

3.一種使用權(quán)利要求1所述的線列式多片傳輸系統(tǒng)的薄膜沉積設(shè)備，包括上片機(jī)、進(jìn)載臺、預(yù)處理腔、沉積腔、冷卻腔、出載臺和下片機(jī)，其特征在于:在所述上片機(jī)和所述進(jìn)載臺之間設(shè)有所述線列式多片傳輸系統(tǒng)，所述線列式多片傳輸系統(tǒng)中的所述裝載單元由所述上片機(jī)向所述進(jìn)載臺運動，且在所述線列式多片傳輸系統(tǒng)的所述支撐架(1)上設(shè)有檢測所述裝載單元運動狀態(tài)的限位傳感器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜沉積設(shè)備，其特征在于:在所述出載臺和所述下片機(jī)之間設(shè)有所述線列式多片傳輸系統(tǒng)，所述線列式多片傳輸系統(tǒng)中的所述裝載單元由所述出載臺向所述下片機(jī)運動。