[發明專利]用于晶圓的刷洗裝置

有效

• 申請號: 201310146913.X
• 申請日: 2013-04-24
• 公開（公告）號: CN103230884A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 路新春;裴召輝;何永勇
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B13/00
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成;黃德海

技術領域

本發明涉及一種用于晶圓的刷洗裝置。

背景技術

現有的用于晶圓的刷洗裝置存在控制精度低、無法實現無級可調、毛刷作用于晶圓的位置隨毛刷壓縮量的變化而變化的缺陷。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本發明的一個目的在于提出一種用于晶圓的刷洗裝置。

為了實現上述目的，根據本發明的實施例提出一種用于晶圓的刷洗裝置，所述用于晶圓的刷洗裝置包括：用于支撐晶圓的支撐件；第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相對地且間隔開地設置以分別用于刷洗所述晶圓的兩個表面；和絲杠組件，所述絲杠組件與所述第一毛刷和所述第二毛刷均相連，所述絲杠組件帶動所述第一毛刷和所述第二毛刷在與所述晶圓的兩個表面正交的方向上移動。

根據本發明實施例的用于晶圓的刷洗裝置通過設置與所述第一毛刷和所述第二毛刷相連的絲杠組件，從而不僅可以精確地控制所述第一毛刷的壓縮量和所述第二毛刷的壓縮量，而且可以實時地對所述第一毛刷的壓縮量和所述第二毛刷的壓縮量進行連續無級的調節，由此可以顯著地提高晶圓的刷洗效果。此外，所述第一毛刷作用于晶圓的位置不隨所述第一毛刷的壓縮量的變化而變化且所述第二毛刷作用于晶圓的位置不隨所述第二毛刷的壓縮量的變化而變化，從而可以提高晶圓旋轉的穩定性。因此，根據本發明實施例的用于晶圓的刷洗裝置具有刷洗效果好等優點。

另外，根據本發明實施例的用于晶圓的刷洗裝置還可以具有如下附加的技術特征：

根據本發明的一個實施例，所述絲杠組件包括：絲杠，所述絲杠包括第一螺紋段和第二螺紋段，所述第一螺紋段的螺紋旋向與所述第二螺紋段的螺紋旋向相反，其中所述絲杠的長度方向與所述晶圓的兩個表面正交；驅動件，所述驅動件與所述絲杠相連以便驅動所述絲杠旋轉；以及第一毛刷支座和第二毛刷支座，所述第一毛刷支座可移動地設在所述第一螺紋段上且與所述第一毛刷相連，所述第二毛刷支座可移動地設在所述第二螺紋段上且與所述第二毛刷相連。由此所述絲杠組件具有結構簡單、合理等優點。

根據本發明的一個實施例，所述用于晶圓的刷洗裝置還包括絲杠支座，所述絲杠可旋轉地設在所述絲杠支座上。由此可以使所述絲杠更加穩定地旋轉。

根據本發明的一個實施例，所述絲杠為滾珠絲杠或梯形絲杠。

根據本發明的一個實施例，所述絲杠組件包括：第一絲杠和第二絲杠，所述第一絲杠的長度方向和所述第二絲杠的長度方向中的每一個均與所述晶圓的兩個表面正交；第一驅動件和第二驅動件，所述第一驅動件與所述第一絲杠相連以便驅動所述第一絲杠旋轉，所述第二驅動件與所述第二絲杠相連以便驅動所述第二絲杠旋轉；以及第一毛刷支座和第二毛刷支座，所述第一毛刷支座可移動地設在所述第一絲杠上且與所述第一毛刷相連，所述第二毛刷支座可移動地設在所述第二絲杠上且與所述第二毛刷相連，其中所述第一毛刷支座的移動方向與所述第二毛刷支座的移動方向相反。由此用于晶圓的刷洗裝置的絲杠組件具有結構簡單、合理等優點。

根據本發明的一個實施例，所述用于晶圓的刷洗裝置還包括至少兩個絲杠支座，所述第一絲杠可旋轉地設在所述至少兩個絲杠支座中的一部分上，所述第二絲杠可旋轉地設在所述至少兩個絲杠支座中的另一部分上。由此可以使所述第一絲杠和所述第二絲杠更加穩定地旋轉。

根據本發明的一個實施例，所述第一絲杠和所述第二絲杠中的每一個為滾珠絲杠或梯形絲杠。

根據本發明的一個實施例，所述用于晶圓的刷洗裝置還包括：滑軌，所述滑軌的長度方向與所述晶圓的兩個表面正交；以及第三毛刷支座和第四毛刷支座，所述第三毛刷支座和所述第四毛刷支座中的每一個沿所述滑軌的長度方向可移動地設在所述滑軌上，其中所述第三毛刷支座與所述第一毛刷的一端相連，所述第四毛刷支座與所述第二毛刷的一端相連，所述第一毛刷的另一端和所述第二毛刷的另一端均與所述絲杠組件相連。由此可以使所述第一毛刷和所述第二毛刷更加穩定地移動。

根據本發明的一個實施例，所述用于晶圓的刷洗裝置還包括第一滑塊和第二滑塊，所述第一滑塊和所述第二滑塊中的每一個沿所述滑軌的長度方向可移動地設在所述滑軌上，其中所述第三毛刷支座設在所述第一滑塊上且所述第四毛刷支座設在所述第二滑塊上。由此可以使所述刷洗裝置的結構更加合理。

本發明的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。

附圖說明

本發明的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：