[發明專利]用于晶圓的刷洗裝置有效
| 申請號： | 201310146913.X | 申請日： | 2013-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN103230884A | 公開（公告）日： | 2013-08-07 |
| 發明（設計）人： | 路新春;裴召輝;何永勇 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | B08B1/00 | 分類號： | B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成;黃德海 |
| 地址： | 100084 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 刷洗 裝置 | ||
1.一種用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，包括：
用于支撐晶圓的支撐件；
第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相對地且間隔開地設置以分別用于刷洗所述晶圓的兩個表面；和
絲杠組件，所述絲杠組件與所述第一毛刷和所述第二毛刷均相連，所述絲杠組件帶動所述第一毛刷和所述第二毛刷在與所述晶圓的兩個表面正交的方向上移動。
2.根據權利要求1所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，所述絲杠組件包括：
絲杠，所述絲杠包括第一螺紋段和第二螺紋段，所述第一螺紋段的螺紋旋向與所述第二螺紋段的螺紋旋向相反，其中所述絲杠的長度方向與所述晶圓的兩個表面正交；
驅動件，所述驅動件與所述絲杠相連以便驅動所述絲杠旋轉；以及
第一毛刷支座和第二毛刷支座，所述第一毛刷支座可移動地設在所述第一螺紋段上且與所述第一毛刷相連，所述第二毛刷支座可移動地設在所述第二螺紋段上且與所述第二毛刷相連。
3.根據權利要求2所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，還包括絲杠支座，所述絲杠可旋轉地設在所述絲杠支座上。
4.根據權利要求2所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，所述絲杠為滾珠絲杠或梯形絲杠。
5.根據權利要求1所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，所述絲杠組件包括：
第一絲杠和第二絲杠，所述第一絲杠的長度方向和所述第二絲杠的長度方向中的每一個均與所述晶圓的兩個表面正交；
第一驅動件和第二驅動件，所述第一驅動件與所述第一絲杠相連以便驅動所述第一絲杠旋轉，所述第二驅動件與所述第二絲杠相連以便驅動所述第二絲杠旋轉；以及
第一毛刷支座和第二毛刷支座，所述第一毛刷支座可移動地設在所述第一絲杠上且與所述第一毛刷相連，所述第二毛刷支座可移動地設在所述第二絲杠上且與所述第二毛刷相連，其中所述第一毛刷支座的移動方向與所述第二毛刷支座的移動方向相反。
6.根據權利要求5所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，還包括至少兩個絲杠支座，所述第一絲杠可旋轉地設在所述至少兩個絲杠支座中的一部分上，所述第二絲杠可旋轉地設在所述至少兩個絲杠支座中的另一部分上。
7.根據權利要求5所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，所述第一絲杠和所述第二絲杠中的每一個為滾珠絲杠或梯形絲杠。
8.根據權利要求1-7中任一項所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，還包括：
滑軌，所述滑軌的長度方向與所述晶圓的兩個表面正交；以及
第三毛刷支座和第四毛刷支座，所述第三毛刷支座和所述第四毛刷支座中的每一個沿所述滑軌的長度方向可移動地設在所述滑軌上，其中所述第三毛刷支座與所述第一毛刷的一端相連，所述第四毛刷支座與所述第二毛刷的一端相連，所述第一毛刷的另一端和所述第二毛刷的另一端均與所述絲杠組件相連。
9.根據權利要求8所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，還包括第一滑塊和第二滑塊，所述第一滑塊和所述第二滑塊中的每一個沿所述滑軌的長度方向可移動地設在所述滑軌上，其中所述第三毛刷支座設在所述第一滑塊上且所述第四毛刷支座設在所述第二滑塊上。
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