[發明專利]柔性顯示裝置的制造方法有效
| 申請號: | 201310143226.2 | 申請日: | 2013-04-23 |
| 公開(公告)號: | CN103715136B | 公開(公告)日: | 2018-12-14 |
| 發明(設計)人: | 崔廷豪;吳相憲;康東旭 | 申請(專利權)人: | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/00 | 分類號: | H01L51/00;H01L51/56;B32B38/00 |
| 代理公司: | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人: | 韓明星;金光軍 |
| 地址: | 韓國京畿*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 柔性 顯示裝置 制造 方法 | ||
本發明公開柔性顯示裝置的制造方法。公開的柔性顯示裝置的制造方法包括如下步驟:準備柔性基板形成于載體基板的基板組裝體;將準備的多個基板組裝體分為多層裝載至加熱爐內;對于在加熱爐內層疊為所述多層的各個基板組裝體,沿水平方向噴吹熱風而進行熱處理;在經熱處理的基板組裝體的柔性基板上形成顯示單元;分離柔性基板和載體基板。根據這種制造方式,在分離載體基板和柔性基板之后也能夠抑制柔性基板發生彎曲的現象,因此可以使后續工序順暢地進行,據此可提高生產率,還可以降低在處理過程中可能發生的產品被損傷的危險。
技術領域
本發明涉及柔性顯示裝置的制造方法,尤其涉及能夠防止基板的彎曲變形的柔性顯示裝置的制造方法。
背景技術
如同有機發光顯示裝置的顯示裝置在驅動特性上能夠實現薄型化以及柔性化,因此對這種顯示裝置進行著諸多研究。
最近,顯示單元形成于柔軟的柔性基板上的柔性顯示裝置逐漸受到關注。
在制造這種柔性顯示裝置時,通常通過如下方式進行制造:在堅硬的載體基板上涂布諸如聚酰亞胺的柔性材料而形成柔性基板,并在該柔性基板上形成顯示單元之后,最后分離載體基板和柔性基板。
然而,如此地分離出載體基板和柔性基板時,薄的柔性基板受到壓縮應力而不能平坦地舒展,因此導致頻繁地發生柔性基板彎曲的情況。這樣一來,在后續工序中將會難以取放產品,因此要求提供對此的解決方案。
發明內容
本發明的實施例提供一種被改善為分離載體基板和柔性基板之后也能夠抑制柔性基板發生彎曲的現象的柔性顯示裝置的制造方法。
本發明的實施例提供的柔性顯示裝置的制造方法包括如下步驟:準備柔性基板形成于載體基板的基板組裝體;將準備的多個所述基板組裝體分為多層裝載至加熱爐內;對于在所述加熱爐內層疊為所述多層的各個基板組裝體,沿水平方向噴吹熱風而進行熱處理;在經熱處理的所述基板組裝體的所述柔性基板上形成顯示單元;分離所述柔性基板和所述載體基板。
在進行所述熱處理的步驟中,所述熱風可沿著層疊于各層的所述基板組裝體的柔性基板的板面形成層流而經過。
在進行所述熱處理的步驟中,可分階段地提高所述熱風的溫度。
所述熱風的溫度可按照小于150℃的第一階段和150℃以上且小于300℃的第二階段以及300℃以上的第三階段來分階段地上升。
所述柔性基板可包括聚酰亞胺材料,所述載體基板可包括玻璃材料。
還可包括在分離柔性基板和載體基板之后,對所述柔性基板進行再加熱的后處理步驟。
所述后處理步驟可包括將熱源直接接觸到所述柔性基板的直接加熱步驟和將所述柔性基板在高溫氛圍下放置預定時間的間接加熱步驟中的任意一個。
在所述直接加熱步驟中,可以將柔性基板放置到被加熱至50~150℃的熱板上且放置1~10分鐘。
在所述間接加熱步驟中,可以將所述柔性基板放置于溫度維持在50~150℃的烤箱內且放置1~5分鐘。
在分離出所述載體基板和所述柔性基板之后確認到所述柔性基板的彎曲時,選擇進行所述后處理步驟。
如上所述,根據本發明的柔性顯示裝置的制造方法,在分離載體基板和柔性基板之后也能夠抑制柔性基板發生彎曲的現象,因此可以使后續工序順暢地進行,據此可提高生產率,還可以降低在處理過程中可能發生的產品被損傷的危險。
附圖說明
圖1為示出利用本發明的實施例提供的制造方法制造的柔性顯示裝置的剖面圖。
圖2a至圖2g為示出圖1所示的柔性顯示裝置的制造過程的圖。
具體實施方式
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





