[發明專利]柔性顯示裝置的制造方法有效
| 申請號： | 201310143226.2 | 申請日： | 2013-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN103715136B | 公開（公告）日： | 2018-12-14 |
| 發明（設計）人： | 崔廷豪;吳相憲;康東旭 | 申請（專利權）人： | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號： | H01L51/00 | 分類號： | H01L51/00;H01L51/56;B32B38/00 |
| 代理公司： | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人： | 韓明星;金光軍 |
| 地址： | 韓國京畿*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 柔性 顯示裝置 制造 方法 | ||
1.一種柔性顯示裝置的制造方法，包括如下步驟：
準備柔性基板形成于載體基板的基板組裝體；
將準備的多個所述基板組裝體分為多層裝載至加熱爐內；
對于在所述加熱爐內層疊為所述多層的各個基板組裝體，沿水平方向噴吹熱風而進行熱處理；
在經熱處理的所述基板組裝體的所述柔性基板上形成顯示單元；
分離所述柔性基板和所述載體基板，
在進行所述熱處理的步驟中，分階段地提高所述熱風的溫度，且所述熱風沿著層疊于各層的所述基板組裝體的柔性基板的板面形成層流而經過,
還包括在分離柔性基板和載體基板之后，對所述柔性基板進行再加熱的后處理步驟。
2.如權利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，所述熱風的溫度按照小于150℃的第一階段和150℃以上且小于300℃的第二階段以及300℃以上的第三階段來分階段地上升。
3.如權利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，所述柔性基板包括聚酰亞胺材料，所述載體基板包括玻璃材料。
4.如權利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，所述后處理步驟包括將熱源直接接觸到所述柔性基板的直接加熱步驟和將所述柔性基板在50～150℃溫度氛圍下放置預定時間的間接加熱步驟中的任意一個。
5.如權利要求4所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，在所述直接加熱步驟中，將柔性基板放置到被加熱至50～150℃的熱板上且放置1～10分鐘。
6.如權利要求4所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，在所述間接加熱步驟中，將所述柔性基板放置于溫度維持在50～150℃的烤箱內且放置1～5分鐘。
7.如權利要求1所述的柔性顯示裝置的制造方法，其中，在分離出所述載體基板和所述柔性基板之后確認到所述柔性基板的彎曲時，選擇進行所述后處理步驟。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的；具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的，如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇
