[發明專利]一種薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置

無效

• 申請號: 201310136902.3
• 申請日: 2013-04-18
• 公開（公告）號: CN103234848A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 刁東風;于力偉;范雪
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01N3/40
• 分類號: G01N3/40;G01N19/02;G01N3/46
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 蔡和平

1.一種薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置，其特征在于，包括基座（1），基座（1）上安裝有用于放置檢測樣本的壓電式運動平臺（2），以及能夠垂直和水平移動的位移臺（3），位移臺（3）上安裝有傳感器固定器（4），傳感器固定器（4）的前端固定安裝有納米刻劃與粘滑測試傳感器（5），基座（1）上還安裝有光學成像系統（6），其中，納米刻劃與粘滑測試傳感器（5）包括：帶有刻劃頭（501）的刻劃頭夾持塊（502），刻劃頭（501）位于壓電式運動平臺（2）的正上方，刻劃頭夾持塊（502）通過切向臂（504）和法向臂（507）與感器固定器（4）相連接，且切向臂（504）和法向臂（507）上對應貼附有切向力電阻應變片（505）和法向力電阻應變片（508）。

2.根據權利要求1所述的薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置，其特征在于，所述位移臺（3）包括：安裝于基座（1）上的若干根絲杠（301），絲杠（301）的頂端固定安裝有U型探針架（302），U型探針架（302）上設置有用于調節U型探針架（302）水平位移的手調旋鈕（304）；

所述傳感器固定器（4）包括：安裝于位移臺（3）上的U型固定導軌（401），U型固定導軌（401）的中部卡合有用于固定納米刻劃與粘滑測試傳感器（5）的夾塊（405）。

3.根據權利要求2所述的薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置，其特征在于，所述U型探針架（302）的內側為斜面結構，且所述U型固定導軌（401）的外側面與U型探針架（302）內側斜面相配合。

4.根據權利要求2所述的薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置，其特征在于，所述U型探針架（302）的下端設置有進行緩沖的制動拉簧（303）。

5.根據權利要求2所述的薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置，其特征在于，所述絲杠（301）的數量為3。

6.根據權利要求2所述的薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置，其特征在于，所述U型固定導軌（401）的兩臂上安裝分別有的L形擋板（402）。

7.根據權利要求1所述的薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置，其特征在于，所述切向臂（504）與法向臂（507）通過轉接塊（506）相連接。

8.根據權利要求1所述的薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置，其特征在于，所述刻劃頭（501）通過緊定螺釘（503）同軸連接于刻劃頭夾持塊（502）上。

9.根據權利要求1所述的薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置，其特征在于，所述刻劃頭（501）為金剛石壓頭，尖端曲率半徑為130nm，錐頂角為155°。

10.根據權利要求1所述的薄膜表面納米刻劃與摩擦粘滑特性測試裝置，其特征在于，所述光學成像系統（6）的顯微放大倍率為400倍。