[發(fā)明專利]用于研磨或拋光玻璃基板的至少一條邊緣的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310131751.2
• 申請日: 2009-10-30
• 公開（公告）號: CN103223633A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設計）人: J·W·布朗;B·R·拉杰
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: B24B9/10
• 分類號: B24B9/10;B24B49/16;B24B47/10;B24B47/20
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 丁曉峰

本申請是申請日為2009年10月30日、申請?zhí)枮?00910211813.4、名稱為“具有音圈的線性壓力進給研磨”的發(fā)明專利申請的分案申請。

技術領域

本發(fā)明總地涉及顯示器玻璃基板，且具體涉及一種用于研磨或拋光玻璃基板的至少一條邊緣的方法。

背景技術

平板顯示器基板的制造工藝需要特定尺寸的玻璃基板，該基板能夠在標準的生產裝置上進行處理。為了得到具有適當尺寸的基板，采用機械劃刻和斷開工藝，或采用激光劃刻技術。這些確定尺寸的方法中的每種都需要邊緣修整。修整工藝包括對邊緣進行研磨和/或拋光，以去除尖銳的邊緣及會使基板的強度和耐久度降低的其它缺陷。另外，在制造LCD面板中有許多需要操作的工藝步驟。因此，用于液晶顯示器(LCD)的玻璃基板要有能足夠承受機械操作和接觸的邊緣。

經修整的邊緣是通過用金屬研磨砂輪研磨未經修整的邊緣而形成。在常規(guī)系統(tǒng)中，玻璃基板被放置在卡盤上并行進經過一系列的研磨位置。每個位置裝配有根據置于砂輪上的砂粒的粗糙度/細度的不同而不同的研磨砂輪。在玻璃基板通過每個研磨位置之后修整工藝完成。然而，當玻璃沒有相對于砂輪適當對準時，修整后的玻璃基板質量就會下降。具體來說，玻璃未對準會對玻璃的尺寸精度產生負面影響。其次，玻璃未對準會使邊緣質量較差，這通常導致基板的強度較差。因而，在LCD處理步驟中會發(fā)生基板破裂。由于要求顯示器的尺寸越來越大，使上述問題進一步惡化。這樣的要求以及規(guī)模經濟效益促使有源陣列液晶顯示器(AMLCD)制造商生產更大的顯示器基板。因此提供具有必需有的邊緣質量、尺寸精度和強度的較大顯示器基板是十分重要的。

考慮有三種措施來解決上述問題。在一種措施中，基板制造商考慮可提供改善對準精度的研磨系統(tǒng)。遺憾的是，由于LCD的制造商使用越來越大的基板，當基板尺寸增加時，對對準公差的要求也越來越嚴格。精確的對準越來越重要，因為在處理較大的基板時，小的偏斜角會轉化成為較大的誤差。這種措施的一個缺點是雖然可以得到具有要求精度的對準工具，但由于磨損，無法長久保持該精度。

在另一種所考慮的措施中，可采用通過去除更多的材料來補償對準精度的不足的研磨系統(tǒng)。通常，邊緣修整研磨系統(tǒng)僅需去除大約100微米的材料。該概念就是提供較大的基板，去除正確的量來滿足尺寸需要。完成該目標的一種方法是使用包括多重研磨步驟的系統(tǒng)。這就轉化為更多的砂輪軸和更多的砂輪。該方法的一個缺點在于附屬加處理裝置的花費。另外，一旦得到這樣的裝置，就需要對更多的裝置進行更多的維護。去除更多材料的另一種措施是采用更粗糙的砂輪。遺憾的是，由于更粗糙的修整使基板更易破裂，因此這一選擇并沒有吸引力。

去除更多材料的又一種方式是使基板橫向經過修整系統(tǒng)的速度減慢。遺憾的是，該方法會降低生產量和研磨邊緣質量。另外，如果要保持生產量的話就需要增加資金預算。

在所考慮的又一種方式中，可使用跟蹤基板邊緣的自對準研磨系統(tǒng)。該壓力進給研磨方法施加垂直于基板邊緣的預定的力。砂輪通過繞樞軸件旋轉而隨著邊緣的即時位置移動，或跟蹤該位置。由于砂輪的位置是由基板邊緣的位置決定的，最后生成的基板產品相對于常規(guī)研磨的基板來說提高了尺寸精度。遺憾的是，該技術同樣也有缺點。在常規(guī)壓力進給系統(tǒng)中所采用的柱形樞軸包括機械軸承。為了克服這些機械軸承的摩擦力，必須施加約為16N的垂直力。該力超出了玻璃基板的強度，如果施加了那樣的力則會發(fā)生破裂。雖然壓力進給研磨法是有前途的，但在上述問題沒有解決之前無法使用。

考慮到上述內容，希望提供一種構造為去除精確玻璃量、同時又保持邊緣質量的邊緣修整設備。還需要提供一種提高尺寸精度的邊緣修整設備。另外，該邊緣修整設備應可適時地對玻璃的邊緣進行修整，而不會降低所需的玻璃強度和邊緣質量屬性。所需要的是一種可提供上述特征同時又可克服以上所討論的常規(guī)壓力進給研磨系統(tǒng)的局限性的壓力進給研磨設備。

發(fā)明內容

本發(fā)明旨在解決上述的需求。本發(fā)明的壓力進給研磨設備提供一種克服常規(guī)壓力進給研磨系統(tǒng)的局限性的無摩擦系統(tǒng)。本發(fā)明提供了一種邊緣修整設備，該設備構造成可去除精確量的玻璃。這樣，與由常規(guī)系統(tǒng)修整的玻璃基板相比，通過本發(fā)明修整的玻璃基板的尺寸與接受板材的尺寸接近得多。另外，本發(fā)明提供具有較高強度和邊緣質量的經修整的玻璃基板。