[發明專利]擺片裝置及其調整方法

有效

• 申請號: 201310122693.7
• 申請日: 2013-04-10
• 公開（公告）號: CN104103711A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 韓盼盼
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/68
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種擺片裝置，其特征在于：包括裝載臺、傳送帶和龍門架；

所述裝載臺用于承載載板，所述載板上設置有若干個用于擺放硅片的片槽；

所述裝載臺上設置有至少三個定位器，用于從至少三個方向調節并固定所述載板的位置；

所述傳送帶位于所述裝載臺的一側，用于傳送待擺放的硅片；

所述龍門架用于將所述傳送帶上的硅片擺放到所述載板上。

2.根據權利要求1所述的擺片裝置，其特征在于：還包括上料臺和機械手；

所述上料臺用于放置裝有硅片的料盒；

所述機械手用于將所述料盒中的硅片取出并放置在所述傳送帶上。

3.根據權利要求1所述的擺片裝置，其特征在于：所述定位器為伺服電機。

4.根據權利要求1所述的擺片裝置，其特征在于：所述定位器的數量為三個，且該三個定位器分別設置于所述裝載臺的前側、左側、后側。

5.一種基于權利要求1所述的擺片裝置的調整方法，其特征在于，包括：

當硅片偏離片槽時，

獲取所述硅片偏離的距離；

根據所述硅片偏離的距離，調節載板、傳送帶或龍門架的位置。

6.根據權利要求5所述的調整方法，其特征在于，在所述獲取所述硅片偏離的距離之前，還包括：

判斷造成所述硅片偏離的原因；

則根據所述硅片偏離的距離，調節載板、傳送帶或龍門架的位置，具體為：

根據所述硅片偏離的原因和距離，調節載板、傳送帶或龍門架的位置。