[發明專利]振動片、振動裝置以及電子設備

在審

• 申請號: 201310121565.0
• 申請日: 2013-04-09
• 公開（公告）號: CN103363977A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 舟川剛夫
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5607
• 分類號: G01C19/5607
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

技術領域

本發明涉及一種振動片、振動裝置以及電子設備。

背景技術

對角速度、加速度等的物理量進行檢測的傳感器元件例如被用于車輛中的車身控制、車輛導航系統的本車位置檢測、數碼照相機或攝像機等的振動控制補償(所謂手抖補償)等。作為所涉及的傳感器元件，例如已知一種振動陀螺傳感器(角速度傳感器)(例如，參照專利文獻1)。

例如，專利文獻1中所記載的角速度傳感器具備音叉形狀的基板，所述基板具有兩個臂部，在各個臂部上，依次層疊有下部電極層、壓電層以及上部電極層。此外，在專利文獻1所記載的角速度傳感器中，上部電極層的一部分與激勵電極部和檢測電極部被分離。

在這種專利文獻1所記載的角速度傳感器中，通過向激勵電極部和下部電極層之間施加電壓，從而使各個臂部在相互接近、遠離的方向上進行振動。而且，當在該狀態下各個臂部受到圍繞沿著其延伸方向的軸線的角速度時，將由于科里奧利力而使各個臂部向與上文所述的振動方向正交的方向撓曲，從而將由檢測電極部檢測出與該撓曲量相對應的電荷。根據該被檢測出的電荷，能夠檢測出角速度。

但是，在這種現有的角速度傳感器中，在通過引線接合而與其他部件導通的情況下，必須將接合線固定在壓電層之上的上部電極層上。此時，由于壓電層和上部電極層的緊貼性不一定較高，因此存在上部電極層剝落、或者可靠性降低的這類問題。

專利文獻1：日本特開2003-152232號公報

發明內容

本發明的目的在于，提供一種能夠以較高的成品率制造并且可靠性優異的振動片以及振動裝置，此外，還提供一種具備所涉及的振動裝置的可靠性較高的電子設備。

本發明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，其能夠作為以下的方式或應用例而實現。

應用例1

本發明的振動片的特征在于，具備：基部；振動臂，其從所述基部起被延伸出；第一壓電體元件，其被設置在所述振動臂上，且具有第一下部電極層、第一上部電極層以及第一壓電體層，所述第一上部電極層相對于所述第一下部電極層被設置在與所述振動臂的相反側，所述第一壓電體層被設置在所述第一下部電極層與所述第一上部電極層之間；配線，其從所述第一上部電極層被引出，且具有沿著所述第一壓電體層的側面而設置的部分；端子，其被設置在所述基部上，且經由所述配線而與所述第一上部電極層電連接。

根據以此方式所構成的振動片，能夠使用不經由第一壓電體層而被直接設置在基部上的端子來對第一上部電極層進行通電。此外，由于不經由第一壓電體層而被直接設置在基部上的端子與基部的緊貼性優異，因此即使實施引線接合，也能夠防止被剝落，從而可靠性優異。

由此，能夠以較高的成品率制造振動裝置，并能夠提供可靠性優異的振動片。

應用例2

在本發明的振動片中，優選為，具備絕緣體層，所述絕緣體層被設置在所述第一壓電體層以及所述第一下部電極層的側面與所述配線之間，且由與所述第一壓電體層不同的材料構成。

由此，能夠在通過絕緣體層來防止配線與第一下部電極層之間的短路的同時，進行向第一壓電體層之上的第一上部電極層的跨越配線。此外，通過適當選擇絕緣體層的構成材料，從而能夠防止絕緣體層對振動片的特性的負面影響。

應用例3

優選為，在將所述第一壓電體層的介電常數設為εp且將所述絕緣體層的介電常數設為εi時，滿足εp＞εi的關系。

由此，能夠在通過絕緣體層來防止配線與第一下部電極層之間的短路的同時，進行向第一壓電體層之上的第一上部電極層的跨越配線。尤其是，由于絕緣體層的介電常數小于第一壓電體層的介電常數，因此能夠降低配線與第一下部電極層之間的寄生電容。因此，能夠防止配線對振動片的特性的負面影響。

應用例4

在本發明的振動片中，優選為，所述絕緣體層具有相對于所述第一壓電體層而被設置于所述第一上部電極層側的部分，且在該部分與所述第一壓電體層之間存在有所述第一上部電極層的一部分。

由此，能夠增大第一上部電極層的電極面積。因此，能夠使第一壓電體元件的電場效率優異。

應用例5

在本發明的振動片中，優選為，所述絕緣體層具有相對于所述第一壓電體層而被設置于所述第一上部電極層側的部分，且在該部分與所述第一壓電體層之間不存在所述第一上部電極層。

由此，能夠在振動片的制造時，在形成絕緣體層之后，一并形成第一上部電極層以及配線。因此，能夠簡化振動片的制造工序。

應用例6

在本發明的振動片中，優選為，所述絕緣體層的厚度與所述第一下部電極層的厚度相比而較厚。