[發明專利]振動片、振動裝置以及電子設備

在審

• 申請號: 201310121565.0
• 申請日: 2013-04-09
• 公開（公告）號: CN103363977A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 舟川剛夫
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5607
• 分類號: G01C19/5607
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

1.一種振動片，其特征在于，具備：

基部；

振動臂，其從所述基部起被延伸出；

第一壓電體元件，其被設置在所述振動臂上，且具有第一下部電極層、第一上部電極層以及第一壓電體層，所述第一上部電極層相對于所述第一下部電極層被設置在所述振動臂的相反側，所述第一壓電體層被設置在所述第一下部電極層與所述第一上部電極層之間；

配線，其從所述第一上部電極層被引出，且具有沿著所述第一壓電體層的側面而設置的部分；

端子，其被設置在所述基部上，且經由所述配線而與所述第一上部電極層電連接。

2.如權利要求1所述的振動片，其中，

具備絕緣體層，所述絕緣體層被設置在所述第一壓電體層以及所述第一下部電極層的側面與所述配線之間，且由與所述第一壓電體層不同的材料構成。

3.如權利要求2所述的振動片，其特征在于，

在將所述第一壓電體層的介電常數設為εp且將所述絕緣體層的介電常數設為εi時，

滿足εp＞εi的關系。

4.如權利要求2或權利要求3所述的振動片，其中，

所述絕緣體層具有相對于所述第一壓電體層而被設置于所述第一上部電極層側的部分，

在該部分與所述第一壓電體層之間存在有所述第一上部電極層的一部分。

5.如權利要求2或權利要求3所述的振動片，其中，

所述絕緣體層具有相對于所述第一壓電體層而被設置于所述第一上部電極層側的部分，

在該部分與所述第一壓電體層之間不存在所述第一上部電極層。

6.如權利要求2或權利要求3所述的振動片，其中，

所述絕緣體層的厚度與所述第一下部電極層的厚度相比而較厚。

7.如權利要求1所述的振動片，其中，

所述第一壓電體層以所述配線與所述第一下部電極層之間的部分對所述第一下部電極層的側面進行覆蓋的方式被設置。

8.如權利要求2或權利要求7所述的振動片，其中，

所述第一壓電體層的所述側面相對于所述第一下部電極層的主面而傾斜。

9.如權利要求1或權利要求2所述的振動片，其中，

所述第一上部電極層和所述配線為相同的材料。

10.如權利要求1或權利要求2所述的振動片，其中，

所述第一上部電極層和所述配線是一體的。

11.如權利要求1或權利要求2所述的振動片，其中，

具備第二壓電體元件，其被設置在所述振動臂上，且具有第二下部電極層、第二上部電極層以及第二壓電體層，所述第二上部電極層相對于所述第二下部電極層被設置在所述振動臂的相反側，所述第二壓電體層被設置在所述第二下部電極層與所述第二上部電極層之間，

所述配線與所述第二下部電極層被電連接。

12.一種振動裝置，其特征在于，

具備權利要求1所述的振動片。

13.一種電子設備，其特征在于，

具備權利要求1所述的振動片。