[發(fā)明專利]封閉式銷用陶瓷支板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310117784.1
• 申請(qǐng)日: 2013-04-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103236409A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳鳳麗;姜崴;朱超群;國(guó)建花
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 沈陽(yáng)維特專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 21229
• 代理人: 甄玉荃

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種銷用陶瓷支板，確切地說(shuō)是一種封閉式銷用陶瓷支板，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，尤其是12英寸半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，銷支板在整個(gè)工藝過(guò)程中，通過(guò)自身的升降來(lái)實(shí)現(xiàn)不同位置上的銷的統(tǒng)一升降，從而實(shí)現(xiàn)傳片過(guò)程中晶圓的升降。銷一般是按圓周均勻分布的，數(shù)量一般為三個(gè)或多個(gè)不等。為保證晶圓在整個(gè)工藝過(guò)程中無(wú)偏移、滑片等現(xiàn)象，需要保證不同位置上的銷的高度是一致的，即無(wú)論在任何狀態(tài)下，銷的提升和下降的速度是一樣的。這就對(duì)銷支板的要求提高了。需要銷支板在任何狀態(tài)下，位于不同位置的銷所處的面的升降是一致的，并保證這些面始終處于同一平面上。考慮腔體的密封以及安裝空間有限，銷支板一般只設(shè)有一個(gè)升降支點(diǎn)。這又對(duì)銷支板的強(qiáng)度要求提高了，不允許其在高溫狀態(tài)下有較大的變形存在。以保證各處銷的高度不會(huì)有大的差異，從而確保晶圓的傳輸順暢。同時(shí)，銷支板其自身也不能太重，避免因重力作用導(dǎo)致變形。

現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中采用的銷支板的結(jié)構(gòu)樣式很多，有開(kāi)口式的“V”型鋁制支板，有結(jié)構(gòu)復(fù)雜的發(fā)射型支板，有圓弧型支板等等。但在高溫狀態(tài)下，除了升降支點(diǎn)處的支撐面外，各個(gè)分支端部均會(huì)有很大的變形。變形產(chǎn)生后，各處銷的最高點(diǎn)的位置就存在差異，從而導(dǎo)致晶圓不能處于一個(gè)相對(duì)水平的狀態(tài)，或傾斜或滑片。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)容易嚴(yán)重、各處支點(diǎn)高低不一的技術(shù)問(wèn)題，而提供一種結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，強(qiáng)度高，性能較好的新的結(jié)構(gòu)形式。采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷強(qiáng)度高，高溫變形小等優(yōu)勢(shì)。該發(fā)明采用等邊三角閉合式，其結(jié)構(gòu)是針對(duì)在設(shè)備上共設(shè)有三處位于等圓周上的銷的結(jié)構(gòu)形式。該結(jié)構(gòu)形式利用三點(diǎn)決定一個(gè)圓，來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的支撐。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案：封閉式銷用陶瓷支板，包括支板使用側(cè)（15）和支板固定側(cè)（18）。所述的支板使用側(cè)（15）是由分支面A（2）、分支面B（4）及分支面C（8）組成。上述支板使用側(cè)（15）上的銷支撐用面A（1）、銷支撐用面B（3）及銷支撐用面C（7）是在支板使用側(cè)15的基礎(chǔ)上下沉一定高度而制成的。上述銷支撐用面A（1）、銷支撐用面B（3）及銷支撐用面C（7）上分別有位于同一同心圓上的三個(gè)支撐點(diǎn)，為了加工方便，也為減輕端部的重量，將其端部的材料整體加工掉，成為現(xiàn)有的銷支撐用面A（1）、銷支撐用面B（3）及銷支撐用面C（7）。上述三個(gè)銷支撐用面位于同一平面上，擁有相同的平面度。

支板固定側(cè)（18）由分支面D（9）、分支面E（11）共同組成。固定端處設(shè)有圓柱臺(tái)（20），并在端面設(shè)有倒角（21），其端面（14）是整個(gè)銷支板最厚的地方。支板固定側(cè)（18）的分支面E（11）上設(shè)有2條對(duì)稱的加強(qiáng)筋（10），加強(qiáng)筋（10）整體采用錐面（17）的結(jié)構(gòu)。加強(qiáng)筋（10）的起始端設(shè)有圓角（12），使其在高溫狀態(tài)下應(yīng)力變形減小。支板固定側(cè)（18）上設(shè)有圓柱臺(tái)（20）其內(nèi)設(shè)有一個(gè)沉孔B（21），在支板使用側(cè)也設(shè)有一沉孔A（16），上述圓柱臺(tái)（20）內(nèi)部設(shè)有銷孔（6）和安裝通孔（5）。銷支板通過(guò)銷孔（6）來(lái)實(shí)現(xiàn)與升降機(jī)構(gòu)的定位，通過(guò)通孔（5）來(lái)實(shí)現(xiàn)與升降機(jī)構(gòu)的緊固連接。

本發(fā)明的有益效果是：該結(jié)構(gòu)更好的避免了因支板的變形而導(dǎo)致的銷高度不一，從而導(dǎo)致晶圓傾斜或是滑片現(xiàn)象的出現(xiàn)。而且與現(xiàn)有技術(shù)相比更具合理性，其零部件精度要求相對(duì)不高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工、安裝方便，強(qiáng)度好，在高溫狀態(tài)下變形小，能很好的保障銷對(duì)晶圓的支撐作用，同時(shí)價(jià)格也相對(duì)低廉。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1的后視圖。

圖3是圖2A-A向的剖視圖。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例