[發(fā)明專利]TFT基板的清洗方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310117612.4
• 申請日: 2013-04-07
• 公開（公告）號: CN103199006A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳玉龍;張迅;易偉華
• 申請（專利權(quán)）人: 江西沃格光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;B08B3/08
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及TFT基板領(lǐng)域，特別是涉及一種TFT基板的清洗方法。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的TFT（薄膜場效應(yīng)晶體管）基板的清洗方法為：將拋光漿料研磨后的TFT基板放在洗片臺內(nèi)，用純水噴淋TFT基板表面，后用擰干的海綿擦拭TFT基板表面，之后將TFT基板置于純水槽中上下浮動2～3次浸泡，拿出后自然晾干，得到清洗后的TFT基板。

但是上述TFT基板的清洗方法存在一定的缺陷，如清洗后的TFT基板表面會呈現(xiàn)拋光漿料的污跡（無法擦拭除去），造成TFT基板表面殘留有污跡，會影響后續(xù)TFT基板鍍膜的效果；另外，上述污跡只能通過二次拋光漿料研磨的方法進(jìn)行去除，且增加了TFT基板的破片風(fēng)險，降低了效率。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種清洗效果較佳、提高產(chǎn)率的TFT基板的清洗方法。

一種TFT基板的清洗方法，包括以下步驟：

將食醋或醋酸溶液均勻噴灑在拋光漿料研磨后的TFT基板的表面，其中，所述拋光漿料中含有氧化鈰；

將所述TFT基板表面的所述食醋或所述醋酸溶液擦拭除去；及

用純水清洗所述TFT基板表面，自然晾干，得到清洗后的TFT基板。

在其中一個實施例中，所述食醋為白醋。

在其中一個實施例中，用純水清洗所述TFT基板表面的步驟包括：

用純水噴洗所述TFT基板表面；

將所述TFT基板表面的所述純水擦拭除去；

將所述TFT基板置于純水中進(jìn)行浸泡。

在其中一個實施例中，將所述TFT基板置于純水中進(jìn)行浸泡的步驟包括：

將所述TFT基板豎直置于純水中上下浮動2～3次浸泡，浸泡時間為5～10s。

在其中一個實施例中，用海綿塊擦拭除去所述TFT基板表面的所述食醋、所述醋酸溶液或所述純水。

上述TFT基板的清洗方法，食醋或醋酸溶液中的醋酸與氧化鈰發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使氧化鈰變?yōu)殁嬰x子而溶解于食醋或醋酸溶液中，去除TFT基板表面殘余的拋光漿料污跡，清洗效果較佳；且不需進(jìn)行二次拋光漿料研磨，減少能耗，提高了TFT基板的效率。

附圖說明

圖1為一實施方式的TFT基板的清洗方法的流程圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面對本發(fā)明的具體實施方式做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似改進(jìn)，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施的限制。

請參閱圖1，一實施方式的TFT基板的清洗方法，包括以下步驟：

步驟S100、將食醋或醋酸溶液均勻噴灑在拋光漿料研磨后的TFT基板的表面，其中，拋光漿料中含有氧化鈰。

其中，食醋或醋酸溶液為白醋、米醋或其他常用的食醋。本實施方式中，食醋為白醋。食醋或醋酸溶液中含有醋酸，醋酸能與氧化鈰發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使氧化鈰變?yōu)殁嬰x子而溶解于食醋或醋酸溶液中，去除TFT基板表面殘余的拋光漿料污跡。

步驟S200、將TFT基板表面的食醋或醋酸溶液擦拭除去。

在食醋或醋酸溶液均勻噴灑在拋光漿料研磨后的TFT基板表面后，可立即用擰干水的海綿塊將食醋或醋酸溶液擦拭除去。

步驟S300、用純水清洗TFT基板表面，自然晾干，得到清洗后的TFT基板。

用純水清洗TFT基板表面的步驟具體包括：

1、用純水噴洗TFT基板表面。

用純水噴洗TFT基板表面，能夠去除殘余的食醋或醋酸溶液，初步清洗TFT基板。

2、將TFT基板表面的純水擦拭除去。

用擰干水的海綿塊將TFT基板表面的純水擦拭除去。

3、將TFT基板置于純水中進(jìn)行浸泡。

將TFT基板豎直置于純水中上下浮動2～3次浸泡，浸泡時間為5～10s。將TFT基板置于純水中浸泡，能夠徹底清洗TFT基板，為后續(xù)鍍膜做好準(zhǔn)備。

上述TFT基板的清洗方法，食醋或醋酸溶液中的醋酸與氧化鈰發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使氧化鈰變?yōu)殁嬰x子而溶解于食醋或醋酸溶液中，去除TFT基板表面殘余的拋光漿料污跡，清洗效果較佳；且不需進(jìn)行二次拋光漿料研磨，減少能耗，提高了TFT基板的效率。

下面結(jié)合具體實施例，對TFT基板的清洗方法做進(jìn)一步的闡述。

實施例1

將白醋均勻噴灑在拋光漿料研磨后的TFT基板的表面，其中，拋光漿料中含有氧化鈰。