[發(fā)明專利]TFT基板的清洗方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310117612.4
• 申請(qǐng)日: 2013-04-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103199006A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳玉龍;張迅;易偉華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江西沃格光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;B08B3/08
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種TFT基板的清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：

將食醋或醋酸溶液均勻噴灑在拋光漿料研磨后的TFT基板的表面，其中，所述拋光漿料中含有氧化鈰；

將所述TFT基板表面的所述食醋或所述醋酸溶液擦拭除去；及

用純水清洗所述TFT基板表面，自然晾干，得到清洗后的TFT基板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT基板的清洗方法，其特征在于，所述食醋為白醋。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT基板的清洗方法，其特征在于，用純水清洗所述TFT基板表面的步驟包括：

用純水噴洗所述TFT基板表面；

將所述TFT基板表面的所述純水擦拭除去；

將所述TFT基板置于純水中進(jìn)行浸泡。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的TFT基板的清洗方法，其特征在于，將所述TFT基板置于純水中進(jìn)行浸泡的步驟包括：

將所述TFT基板豎直置于純水中上下浮動(dòng)2～3次浸泡，浸泡時(shí)間為5～10s。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的TFT基板的清洗方法，其特征在于，用海綿塊擦拭除去所述TFT基板表面的所述食醋、所述醋酸溶液或所述純水。