[發明專利]物理量檢測裝置及其制造方法、物理量檢測器、電子設備

無效

• 申請號: 201310116376.4
• 申請日: 2013-04-03
• 公開（公告）號: CN103364583A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 渡邊潤
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/097
• 分類號: G01P15/097;G01C9/00
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

1.一種物理量檢測裝置，包括：

基部；

可動部，其被所述基部支承著，并根據物理量而進行位移；

物理量檢測元件，其跨接所述基部和所述可動部；

支承部，其被配置在所述可動部的兩個主面中的至少一個主面上；

質量體，其具有第一開口部，并通過所述第一開口部內被所述支承部填充，從而使所述質量體被所述支承部支承著。

2.如權利要求1所述的物理量檢測裝置，其中，

所述支承部以還擴張至所述質量體的所述第一開口部的開口的邊緣處的方式被配置。

3.如權利要求1或2所述的物理量檢測裝置，其中，

所述第一開口部具有：第一部分，其具有第一內徑；第二部分，其與所述第一部分相比距所述可動部較遠，并與所述第一部分連續，且具有大于所述第一內徑的第二內徑。

4.如權利要求1或2所述的物理量檢測裝置，其中，

所述第一開口部具有錐狀的內壁面。

5.如權利要求1所述的物理量檢測裝置，其中，

所述第一開口部為與第二開口連通的貫穿孔。

6.如權利要求5所述的物理量檢測裝置，其中，

所述支承部以還擴張至所述第二開口的邊緣處的方式被配置。

7.如權利要求1或2所述的物理量檢測裝置，其中，

所述質量體的所述第一開口部的內壁面為粗糙面。

8.一種物理量檢測裝置的制造方法，包括：

準備基部、和可動部的工序，其中，所述可動部被所述基部支承著，并根據物理量而進行位移；

以跨接所述基部和所述可動部方式設置物理量檢測元件的工序；

準備具有第一開口部的質量體的工序；

在將支承部填充到所述第一開口部內的狀態下，以所述第一開口部的開口與所述可動部的兩個主面中的至少一個主面對置的方式，將所述質量體通過所述支承部而支承在所述可動部上的工序。

9.如權利要求8所述的物理量檢測裝置的制造方法，其中，

形成所述支承部的工序包括：

在所述質量體的所述第一開口部中配置第一粘合劑的工序；

在所述可動部的兩個主面中的至少一個主面上配置第二粘合劑的工序；

通過在將所述第一粘合劑和所述第二粘合劑粘合在一起之后進行熱處理，從而形成所述支承部的工序。

10.如權利要求8所述的物理量檢測裝置的制造方法，其中，

在所述質量體中，所述第一開口部為與第二開口連通的貫穿孔，

形成所述支承部的工序包括：

以所述第二開口朝向外側，而所述第一開口部朝向所述可動部側的方式，隔著隔離片而將所述質量體載置于所述可動部的兩個主面中的至少一個主面上的工序；

通過在從所述第二開口側注入粘合劑，并用所述粘合劑將所述質量體的所述貫穿孔填充之后，進行熱處理，從而形成對所述質量體進行支承的支承部的工序。

11.如權利要求1或2所述的物理量檢測裝置，其中，

所述物理量檢測元件為雙音叉型振動元件。

12.一種物理量檢測器，包括：

權利要求1或2所述的物理量檢測裝置；

對所述物理量檢測裝置進行收納的封裝件。

13.一種電子設備，包括權利要求1或2所述的物理量檢測裝置。