[發明專利]基板的垂直搬送裝置

有效

• 申請號: 201310116334.0
• 申請日: 2013-04-03
• 公開（公告）號: CN103449179B
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 西尾仁孝
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G47/90;B65G47/52
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發明是有關于一種防止基板從定位部往拾取部載移時位置偏移的基板的垂直搬送裝置。具備：具有支持構件及調整載置于該支持構件上的基板位置的定位單元的定位裝載機、可對載置于支持構件上的基板進行吸附并使其上升及下降的吸附升降單元以及將基板在借由拾取構件拾取的狀態下往刻劃單元進行搬送的拾取步驟傳送部；借由吸附升降單元的下降動作，進行基板的從定位裝載機往拾取步驟傳送部的載換。

技術領域

本發明有關于一種基板的垂直搬送裝置，特別是有關于一種可以使由脆性材料等構成的基板在已正確定位的狀態下垂直地移動往拾取(chucking)步驟的基板的垂直搬送裝置。

背景技術

在圖1，表示在現有習知技術中，將已投入供給裝載機(loader)的基板，搬送至進行刻劃步驟的刻劃傳送部的傳送裝置。如圖1所示，為了對已投入供給裝載機A的基板1以配合用途而進行刻劃，必須水平地將基板1搬送至刻劃傳送部D上的刻劃單元30。

因此，首先，使供給裝載機A的傳送帶3旋轉，而將基板1搬送至定位裝載機B。定位裝載機B，進行定位基板1的X軸、Y軸位置的作業。

在定位裝載機B的上方，設置有用于使基板1視需要而旋轉的回旋單元22。回旋單元22，一般在基板1的縱向、橫向的長度為相同的情形下不使用，在基板1的縱向、橫向的長度互為不同的情形下使用。在回旋單元22上，設置有用于使回旋單元22上升及下降的上下驅動單元20，且在回旋單元22的下面，安裝有用于吸附基板1的吸附墊(pad)24。

在改變供給于定位裝載機B上的基板1的朝向時，首先，驅動上下驅動單元20使回旋單元22朝向基板1下降。接著，借由安裝于回旋單元22下面的吸附墊24對基板1進行吸附。一旦吸附，驅動上下驅動單元20使基板1往上方抬起。利用吸附墊24而吸附的基板1，當借由上下驅動單元20上升至一定的高度時，使基板1旋轉。之后，驅動上下驅動單元20，使基板1下降至定位裝載機B的上面。然后，解除吸附墊24的吸附，在將基板1載置于定位裝載機B上之后，驅動上下驅動單元20，使回旋單元22上升且回歸到最初的位置。

在將基板1從定位裝載機B往下一步驟的拾取步驟傳送部C進行搬送之前，使用設置于定位裝載機B的前后左右的定位單元10，進行基板1的X軸、Y軸的位置調整。此為了借由正確地進行基板1的定位，而實行高精度的刻劃。在借由定位單元10對基板1的X軸、Y軸的位置正確地調整后，往下一步驟即拾取步驟傳送部C進行搬送。

可是，在基板1從定位裝載機B的傳送帶6往拾取步驟傳送部C的傳送帶9載移時，會產生微小的位置偏移。具體而言，各傳送帶的微小的高低落差與旋轉速度的落差，會導致基板1的位置偏移。

一旦在仍處于位置已偏移的狀態下于拾取步驟傳送部C上拾取，存在有以下的問題：在借由安裝于刻劃單元30的刻劃頭的刀具前進或后退而刻劃后，無法獲得所希望的高尺寸精度的單位基板。此外，亦存在有在刻劃作業的途中拾取偏移、基板破裂等問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種可在基板正確地定位后，進行刻劃作業的基板的垂直搬送裝置，其能夠防止基板從定位部往拾取部載移時位置偏移。

本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。本發明提出一種基板的垂直搬送裝置，具備：具有支持構件以及調整載置于該支持構件上的基板位置的定位單元的定位裝載機、可對載置于該支持構件上的基板進行吸附并使其上升及下降的吸附升降單元以及將該基板在借由拾取構件拾取的狀態下往刻劃單元進行搬送的拾取步驟傳送部；借由該吸附升降單元的下降動作，進行基板的從該定位裝載機往該拾取步驟傳送部的載換。

本發明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。

較佳的，前述的基板的垂直搬送裝置，其中該支持構件可在水平方向移動。