[發明專利]基板的垂直搬送裝置有效
| 申請號： | 201310116334.0 | 申請日： | 2013-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN103449179B | 公開（公告）日： | 2019-10-11 |
| 發明（設計）人： | 西尾仁孝 | 申請（專利權）人： | 三星鉆石工業股份有限公司 |
| 主分類號： | B65G49/06 | 分類號： | B65G49/06;B65G47/90;B65G47/52 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 垂直 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種基板的垂直搬送裝置，其特征在于具備：
定位裝載機，具有支持構件以及調整載置于該支持構件上的基板的位置的定位單元；
吸附升降單元，可對載置于該支持構件上的基板進行吸附，并使其上升及下降；以及
拾取步驟傳送部，配置于該定位裝載機的垂直方向下方，將該基板在借由拾取構件拾取的狀態下往刻劃單元進行搬送；
借由該吸附升降單元的下降動作，進行基板的從該定位裝載機往該拾取步驟傳送部的載換；
該拾取步驟傳送部配置于該定位裝載機的下方；
一邊以該拾取構件對該基板進行拾取，一邊朝向該刻劃單元反復進行前進與后退，借此刻劃該基板；
該支持構件可以在水平方向移動。
2.如權利要求1所述的基板的垂直搬送裝置，其特征在于其中該支持構件由多個傳送帶構成，借由各傳送帶在水平方向移動，形成該基板可通過的開口部。
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