[發(fā)明專利]一種自清洗腔體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310106579.5
• 申請(qǐng)日: 2013-03-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103170486A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張享倩;王波雷;姬丹丹;李偉;王浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B13/00
• 分類號(hào): B08B13/00;B08B3/02
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國(guó)勝

1.一種自清洗腔體，其特征在于，其包括腔體，自清洗腔體的主體；噴水嘴，清洗時(shí)的出水口；排液口，用于排出清洗硅片和腔體時(shí)的液體，其中，噴水嘴安裝在腔體外部，排液口在腔體下部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自清洗腔體，其特征在于，所述的噴水嘴有上下兩排，其中，所述的噴水嘴上下位置面對(duì)面正對(duì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴水嘴，其特征在于，進(jìn)液軟管的一端伸入噴水嘴內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自清洗腔體，其特征在于，所述的進(jìn)液軟管沒(méi)有伸入噴水嘴的部分安裝有調(diào)壓閥。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自清洗腔體，其特征在于，所述的調(diào)壓閥之前有至少一個(gè)手閥或氣動(dòng)閥。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自清洗腔體，其特征在于，所述的腔體上部有排氣管。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自清洗腔體，其特征在于，其自清洗的步驟為：

1）開(kāi)啟手閥和氣動(dòng)閥，調(diào)節(jié)調(diào)壓閥控制水流流量，開(kāi)始清洗腔體；

2）清洗完畢后，關(guān)閉手閥、氣動(dòng)閥和調(diào)壓閥。