[發(fā)明專利]一種基板減壓干燥方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310103630.7
• 申請日: 2013-03-28
• 公開（公告）號: CN103234328A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發(fā)明（設計）人: 王聳;王冀豫;馮賀;吳洪江
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: F26B5/04
• 分類號: F26B5/04;F26B9/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本發(fā)明涉及基板制造技術領域，特別涉及一種基板減壓干燥方法及裝置。

背景技術

目前的減壓干燥（VCD）設備的排氣孔設置有兩種方式，一種是中心排氣，另一種是四周排氣。但無論哪種排氣方式，對于大尺寸的玻璃基板來說，會由于排氣孔數(shù)量少及分布問題，造成排氣不均勻，加上光刻膠本身的流動性較差，導致基板表面的氣流不均，基板表面的濕度不同等原因，在減壓干燥后，會產(chǎn)生減壓干燥斑點，最常見的是類似月牙形的斑點。目前業(yè)內(nèi)無法對減壓干燥的斑點進行有效控制，增加了基板質(zhì)量的誤判率，不利于對基板質(zhì)量的檢測，影響了基板的品質(zhì)，給后續(xù)工作帶來不便。

發(fā)明內(nèi)容

（一）要解決的技術問題

本發(fā)明要解決的技術問題是：如何提供一種基板減壓干燥方法及裝置，以解決現(xiàn)有基板減壓干燥過程中存在的減壓干燥斑點的問題。

（二）技術方案

為解決上述技術問題，本發(fā)明提供了一種基板減壓干燥方法，其特征是，該方法包括以下步驟：

S1：將基板置于密封空間；

S2：將所述基板的待干燥面劃分為設定個密封區(qū)；

S3：對所述密封區(qū)抽氣減壓；

S4：對所述密封區(qū)吹氣干燥，從密封空間取出基板。

所述步驟S3具體為：

S31：選擇一個所述密封區(qū)作為第一減壓區(qū)進行抽氣減壓；當所述第一減壓區(qū)內(nèi)的壓力小于設定壓力值時進入步驟S32；

S32：若第一減壓區(qū)有相鄰的密封區(qū)，則將所述第一減壓區(qū)和所述第一減壓區(qū)相鄰的一個密封區(qū)連通后形成的區(qū)域作為第一減壓區(qū)，進入步驟S33；否則，第一減壓區(qū)沒有相鄰的密封區(qū)，抽氣結束；

S33：對此時的第一減壓區(qū)進行抽氣減壓，當?shù)谝粶p壓區(qū)內(nèi)的壓力小于所述設定壓力值時，返回步驟S32。

在所述步驟S3之后還包括：將第一減壓區(qū)重新劃分為所述設定個密封區(qū)。

所述步驟S4具體為：

S41：選擇一個所述密封區(qū)作為第一干燥區(qū)進行吹氣干燥，當所述第一干燥區(qū)內(nèi)的濕度小于設定濕度值時進入步驟S42；

S42：若第一干燥區(qū)有相鄰的密封區(qū)，則將所述第一干燥區(qū)和所述第一干燥區(qū)相鄰的一個密封區(qū)連通后形成的區(qū)域作為第一干燥區(qū)，進入步驟S43；否則，第一干燥區(qū)沒有相鄰的密封區(qū)，干燥結束，從密封空間取出基板；

S43：對此時的第一干燥區(qū)進行吹氣干燥，當?shù)谝桓稍飬^(qū)內(nèi)的濕度小于所述設定濕度值時，返回步驟S42。

一種基板減壓干燥裝置，其特征是，該裝置包括：

干燥倉，用于放置待干燥的基板；

密封蓋，用于將所述干燥倉和外部空氣隔絕；

控制板，位于所述干燥倉的下部，用于控制基板的干燥過程；

所述干燥倉包括第一擋板、第二擋板、第三擋板和底板；第一擋板、第二擋板、第三擋板、底板和控制板構成矩形槽。

所述控制板上間隔設置有槽。

所述第一擋板上對應所述控制板上的槽間隔設置有槽。

所述第二擋板上間隔設置有槽。

所述第三擋板對應所述第二擋板上的槽間隔設置有槽。

所述裝置還包括隔離擋板，用于通過所述第一擋板上的槽和控制板上的槽或第二擋板上的槽和第三擋板上的槽劃分所述矩形槽。

所述隔離擋板上設有連通隔離擋板兩側(cè)的壓力控制閥。

所述控制板上的槽之間設有抽氣端口。

所述控制板上的槽之間設有吹氣端口。

所述控制板上的槽之間設有壓力傳感器。

所述控制板上的槽之間設有濕度傳感器。

所述控制板上設有用于監(jiān)控減壓干燥過程的控制面板。

所述控制板內(nèi)設有空氣泵，所述空氣泵的一端與所述控制面板連接；所述空氣泵的另一端與所述抽氣端口和吹氣端口連接。

（三）有益效果

本發(fā)明具有以下優(yōu)點：

1.將大尺寸的基板劃分小的密封區(qū)進行減壓干燥，降低了減壓干燥過程的難度，易于實現(xiàn)；

2.對密封區(qū)逐個進行減壓/干燥，最大限度地保證了壓力和濕度的均勻，避免了減壓干燥斑點的形成；

3.干燥倉可通過第一擋板、第二擋板、第三擋板、底板和控制板構成的矩形槽可根據(jù)基板的形狀進行調(diào)整，能對各種尺寸的基板進行減壓干燥；

4.第一擋板、第二擋板、第三擋板和控制板上對應設置有用于安裝隔離擋板的槽，可以對密封區(qū)的大小靈活控制；

5.相鄰的密封區(qū)通過壓力控制閥進行連通控制，結構簡單有效，過程容易控制，壓力控制閥設置簡單；