[發明專利]一種基板減壓干燥方法及裝置

有效

• 申請號: 201310103630.7
• 申請日: 2013-03-28
• 公開（公告）號: CN103234328A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 王聳;王冀豫;馮賀;吳洪江
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: F26B5/04
• 分類號: F26B5/04;F26B9/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種基板減壓干燥方法，其特征是，該方法包括以下步驟：

S1：將基板置于密封空間；

S2：將所述基板的待干燥面劃分為設定個密封區；

S3：對所述密封區抽氣減壓；

S4：對所述密封區吹氣干燥，從密封空間取出基板。

2.如權利要求1所述的方法，其特征是，所述步驟S3具體為：

S31：選擇一個所述密封區作為第一減壓區進行抽氣減壓；當所述第一減壓區內的壓力小于設定壓力值時進入步驟S32；

S32：若第一減壓區有相鄰的密封區，則將所述第一減壓區和所述第一減壓區相鄰的一個密封區連通后形成的區域作為第一減壓區，進入步驟S33；否則，第一減壓區沒有相鄰的密封區，抽氣結束；

S33：對此時的第一減壓區進行抽氣減壓，當第一減壓區內的壓力小于所述設定壓力值時，返回步驟S32。

3.如權利要求2所述的方法，其特征是，在所述步驟S3之后還包括：將第一減壓區重新劃分為所述設定個密封區。

4.如權利要求3所述的方法，其特征是，所述步驟S4具體為：

S41：選擇一個所述密封區作為第一干燥區進行吹氣干燥，當所述第一干燥區內的濕度小于設定濕度值時進入步驟S42；

S42：若第一干燥區有相鄰的密封區，則將所述第一干燥區和所述第一干燥區相鄰的一個密封區連通后形成的區域作為第一干燥區，進入步驟S43；否則，第一干燥區沒有相鄰的密封區，干燥結束，從密封空間取出基板；

S43：對此時的第一干燥區進行吹氣干燥，當第一干燥區內的濕度小于所述設定濕度值時，返回步驟S42。

5.一種實現權利要求1所述方法的裝置，其特征是，該裝置包括：

干燥倉，用于放置待干燥的基板；

密封蓋，用于將所述干燥倉和外部空氣隔絕；

控制板，位于所述干燥倉的下部，用于控制基板的干燥過程；

所述干燥倉包括第一擋板、第二擋板、第三擋板和底板；第一擋板、第二擋板、第三擋板、底板和控制板構成矩形槽。

6.如權利要求5所述的裝置，其特征是，所述控制板上間隔設置有槽。

7.如權利要求6所述的裝置，其特征是，所述第一擋板上對應所述控制板上的槽間隔設置有槽。

8.如權利要求7所述的裝置，其特征是，所述第二擋板上間隔設置有槽。

9.如權利要求8所述的裝置，其特征是，所述第三擋板對應所述第二擋板上的槽間隔設置有槽。

10.如權利要求9所述的裝置，其特征是，所述裝置還包括隔離擋板，用于通過所述第一擋板上的槽和控制板上的槽或第二擋板上的槽和第三擋板上的槽劃分所述矩形槽。

11.如權利要求10所述的裝置，其特征是，所述隔離擋板上設有連通隔離擋板兩側的壓力控制閥。

12.如權利要求11所述的裝置，其特征是，所述控制板上的槽之間設有抽氣端口。

13.如權利要求12所述的裝置，其特征是，所述控制板上的槽之間設有吹氣端口。

14.如權利要求13所述的裝置，其特征是，所述控制板上的槽之間設有壓力傳感器。

15.如權利要求14所述的裝置，其特征是，所述控制板上的槽之間設有濕度傳感器。

16.如權利要求15所述的裝置，其特征是，所述控制板上設有用于監控減壓干燥過程的控制面板。

17.如權利要求16所述的裝置，其特征是，所述控制板內設有空氣泵，所述空氣泵的一端與所述控制面板連接；所述空氣泵的另一端與所述抽氣端口和吹氣端口連接。