[發(fā)明專利]LED顯示屏及其制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310103196.2
• 申請(qǐng)日: 2013-03-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103219286A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 畢少?gòu)?qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 映瑞光電科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/82
• 分類號(hào): H01L21/82;H01L21/84;H01L21/50;H01L33/38
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及LED制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種LED顯示屏及其制作方法。

背景技術(shù)

發(fā)光二極管（LED，Light?Emitting?Diode）是一種半導(dǎo)體固體發(fā)光器件，其利用半導(dǎo)體PN結(jié)作為發(fā)光材料，可以將電轉(zhuǎn)換為光。當(dāng)半導(dǎo)體PN結(jié)的兩端加上正向電壓后，注入PN結(jié)中的電子和空穴發(fā)生復(fù)合，將過(guò)剩的能量以光子的形式釋放出來(lái)。LED具有壽命長(zhǎng)，功耗低的優(yōu)點(diǎn)，隨著技術(shù)的日漸成熟，LED的運(yùn)用領(lǐng)域也越來(lái)越多元化，其中，LED顯示屏領(lǐng)域的制造工藝也在越來(lái)越成熟，從最初的由LED珠粒列陣組成單基色顯示屏到由LED芯片粒矩陣塊組成的多彩及全彩的顯示屏，LED顯示屏已經(jīng)廣泛用于多媒體廣告和公共告示顯示。

由于LED顯示屏通常由多個(gè)單獨(dú)封裝后LED芯片集成封裝而成，由于本身結(jié)構(gòu)以及封裝工藝的限制，LED芯片之間不可避免的存在較大的間隙，對(duì)顯示屏的像素密度和清晰度造成極大的影響，阻礙LED顯示屏向高清顯示領(lǐng)域的發(fā)展。

并且，目前常常用到的倒裝芯片技術(shù)過(guò)程通常包括兩個(gè)步驟：先分別完成LED管芯部分的制造和基板端導(dǎo)線焊點(diǎn)等部分的制造，然后將兩部分通過(guò)焊球或其它方式連接貼裝。這樣的制造方法，一方面增加了工藝步驟和難度，另一方面，限制了LED顯示屏在厚度和尺寸上的進(jìn)一步發(fā)展。

同時(shí)，芯片尺寸的增加同時(shí)也增加了電流擴(kuò)展的難度，為了使電流均勻分布需要特殊設(shè)計(jì)電極結(jié)構(gòu)，目前常用到的電極結(jié)構(gòu)只能一定程度上解決這一問(wèn)題，無(wú)法滿足芯片尺寸更進(jìn)一步增加的需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種LED顯示屏及其制作方法，以解決LED顯示屏像素密度和清晰度無(wú)法實(shí)現(xiàn)較高清晰度的顯示問(wèn)題。

本發(fā)明的另一目的在于提供優(yōu)化倒裝工藝減少LED顯示屏厚度的方法。

本發(fā)明的又一目的在于解決LED顯示屏的芯片內(nèi)電流分布不均勻的問(wèn)題。

為解決以上問(wèn)題，本發(fā)明提供一種LED顯示屏的制造方法，包括：

提供襯底，在襯底上形成管芯，在所述管芯上形成第一隔離溝道隔離出像素單元；

在管芯表面形成第一絕緣層，并平坦化所述第一絕緣層；

在第一絕緣層對(duì)應(yīng)區(qū)域開(kāi)出第一孔槽群；

在第一絕緣層上形成第一金屬層，并平坦化所述第一金屬層，第一孔槽群內(nèi)的金屬組成第一電極群，第一絕緣層表面的金屬層組成第一電極層；

在第一電極層對(duì)應(yīng)區(qū)域開(kāi)出絕緣孔槽群；

在第一電極層上形成第二絕緣層，并平坦化所述第二絕緣層；

在第二絕緣層對(duì)應(yīng)區(qū)域開(kāi)出第二孔槽群；

在第二絕緣層上形成第二金屬層，并平坦化所述第二金屬層，第二孔槽群內(nèi)的金屬組成第二電極群，第二絕緣層表面的金屬層組成第二電極層，在第二電極層中按像素單元形成第二隔離溝道，在第二隔離溝道中填充有絕緣物質(zhì)；

在第二電極層表面形成薄膜晶體管層；

在薄膜晶體管層上貼裝基板。

可選的，在所述LED顯示屏的制造方法中，所述第一電極群的電極位于所述像素單元的中心，所述第二電極群的電極分布在像素單元的四個(gè)角上。

可選的，在所述LED顯示屏的制造方法中，所述管芯包括依次形成于襯底上的N型半導(dǎo)體層、多量子阱層、P型半導(dǎo)體層和電流擴(kuò)散層，所述多量子阱層、P型半導(dǎo)體層和電流擴(kuò)散層部分暴露出所述N型半導(dǎo)體層。

可選的，在所述LED顯示屏的制造方法中，所述第一電極群形成在電流擴(kuò)散層上，所述第二電極群形成在N型半導(dǎo)體層上。

可選的，在所述LED顯示屏的制造方法中，所述第一電極群形成在N型半導(dǎo)體層上，所述第二電極群形成在電流擴(kuò)散層上。

可選的，在所述LED顯示屏的制造方法中，所述襯底為藍(lán)寶石襯底。

本發(fā)明還提供了一種LED顯示屏，包括：基板，封裝在基板上的像素模塊，所述像素模塊為單個(gè)LED芯片，所述LED芯片包括：襯底、形成于所述襯底上的管芯以及設(shè)置于管芯上并與管芯對(duì)應(yīng)區(qū)域接觸的電極，所述管芯上形成有第一隔離溝道隔離出像素單元，所述電極包括第一電極群和第二電極群，所述第一電極群上生成有第一電極層，所述第二電極群上生成有第二電極層，所述第一電極層和第二電極層之間由第二絕緣層隔開(kāi)，所述第一電極群和第二電極群之間由第一絕緣層和第二絕緣層共同隔開(kāi)第二電極層中形成有按像素單元形成第二隔離溝道，第二電極層表面形成有薄膜晶體管層，薄膜晶體管層與基板貼裝。

可選的，在所述LED顯示屏中，所述第一電極群的電極位于所述像素單元的中心，所述第二電極群的電極分布在像素單元的四個(gè)角上。