[發(fā)明專利]過電壓保護元件及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310102267.7
• 申請日: 2013-03-27
• 公開（公告）號: CN104078447B
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 葉秀倫;張育嘉;劉澤鈞;許秀美
• 申請（專利權(quán)）人: 佳邦科技股份有限公司
• 主分類號: H01L23/58
• 分類號: H01L23/58;H01L21/02
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 趙根喜;呂俊清

本發(fā)明公開了一種過電壓保護元件及其制備方法，包含一基板；一絕緣層，設(shè)置于該基板上，該絕緣層具有一凹槽；以及一導(dǎo)體層，設(shè)置于該絕緣層上，該導(dǎo)體層具有一第一電極及一第二電極，二者形成一放電通路，且該凹槽位于該放電通路下方。本發(fā)明的過電壓保護元件的制備方法包含形成一絕緣層于一基板上；形成一凹槽于該絕緣層之內(nèi)；形成一光阻圖案，其填滿該凹槽并凸伸出該絕緣層；形成一導(dǎo)體層于該絕緣層上，該光阻圖案分隔該導(dǎo)體層而形成一第一電極及一第二電極；以及去除該光阻圖案，由此該第一電極及該第二電極形成一放電通路，且該凹槽位于該放電通路下方。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明關(guān)于一種過電壓保護元件及其制備方法，特別關(guān)于一種采用空氣放電技術(shù)的過電壓保護元件及其制備方法。

背景技術(shù)

電子電路在運作中，若產(chǎn)生電壓異?；蜢o電放電(ESD)，則電子電路上的電子元件可能損壞。為此，電子電路中，常設(shè)置過電壓保護器，以保護電子電路上的電子元件，使其不受電壓異?；蜢o電放電的影響。

在現(xiàn)今電子產(chǎn)品的先進以及工藝技術(shù)提升的進步下，電子產(chǎn)品尺寸逐漸縮小，使得靜電放電對于精密電子零件的損害程度漸趨嚴(yán)重，加上近年來手持式行動設(shè)備的發(fā)展迅速，因此在靜電防護的要求日益增加。比照目前應(yīng)用于靜電防護的方法中，以空氣放電的方式最為常見。

然而，現(xiàn)有的空氣放電保護元件的設(shè)計方式，多屬于直接在基版上制作放電電極，此一保護元件容易有漏電問題產(chǎn)生，造成靜電保護穩(wěn)定度降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種采用空氣放電技術(shù)的過電壓保護元件及其制備方法，其具有一絕緣凹槽，可容納放電過程中掉落的金屬碎屑，避免形成短路，以確保過電壓保護元件的穩(wěn)定性。

本發(fā)明的過電壓保護元件的一實施例，包含一基板；一絕緣層，設(shè)置于該基板之上，該絕緣層具有一凹槽；以及一導(dǎo)體層，設(shè)置于該絕緣層之上，該導(dǎo)體層具有一第一電極及一第二電極，該第一電極及該第二電極形成一放電通路，且該凹槽位于該放電通路的下方。

本發(fā)明的過電壓保護元件的另一實施例，包含一絕緣基板，具有一凹槽；以及一導(dǎo)體層，設(shè)置于該絕緣基板之上，該導(dǎo)體層具有一第一電極及一第二電極，該第一電極及該第二電極形成一放電通路，且該凹槽位于該放電通路的下方。

本發(fā)明的過電壓保護元件的制備方法的一實施例，包含形成一絕緣層于一基板之上；形成一凹槽于該絕緣層之內(nèi)；形成一光阻圖案，其填滿該凹槽并凸伸出該絕緣層；形成一導(dǎo)體層于該絕緣層之上，該光阻圖案分隔該導(dǎo)體層而形成一第一電極及一第二電極；以及去除該光阻圖案，藉此該第一電極及該第二電極形成一放電通路，且該凹槽位于該放電通路的下方。

本發(fā)明的過電壓保護元件的制備方法的另一實施例，包含形成一凹槽于一絕緣基板之內(nèi)；形成一光阻圖案，其填滿該凹槽并凸伸出該絕緣基板；以及形成一導(dǎo)體層于該絕緣基板之上，該光阻圖案分隔該導(dǎo)體層而形成一第一電極及一第二電極；以及去除該光阻圖案，由此該第一電極及該第二電極形成一放電通路，且該凹槽位于該放電通路的下方。

上文已相當(dāng)廣泛地概述本發(fā)明的技術(shù)特征及優(yōu)點，以使下文的本發(fā)明詳細(xì)描述得以獲得較佳了解。構(gòu)成本發(fā)明的申請專利范圍標(biāo)的的其它技術(shù)特征及優(yōu)點將描述于下文。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者應(yīng)了解，可相當(dāng)容易地利用下文揭示的概念與特定實施例可作為修改或設(shè)計其它結(jié)構(gòu)或工藝而實現(xiàn)與本發(fā)明相同的目的。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者也應(yīng)了解，這類等效建構(gòu)無法脫離后附的申請專利范圍所界定的本發(fā)明的精神和范圍。

附圖說明

通過參照前述說明及下列圖式，本發(fā)明的技術(shù)特征及優(yōu)點得以獲得完全了解。

圖1例示本發(fā)明一實施例的過電壓保護元件；

圖2至圖10例示本發(fā)明一實施例的過電壓保護元件的制備方法；

圖11例示本發(fā)明另一實施例的過電壓保護元件；以及