[發(fā)明專利]蒸鍍裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310102167.4
• 申請(qǐng)日: 2013-03-27
• 公開（公告）號(hào): CN103276358A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳益圃;吳雅婷;吳文豪;丁勇升
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 友達(dá)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;王穎

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明關(guān)于一種蒸鍍裝置，尤指一種可對(duì)蒸鍍材料剩余量進(jìn)行監(jiān)控的蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

于半導(dǎo)體、平面顯示器以及太陽(yáng)能等產(chǎn)業(yè)中，蒸鍍工藝(evaporation?process)常見應(yīng)用于成膜方面的技術(shù)。蒸鍍工藝的原理將蒸鍍材料放置于坩堝內(nèi)，再將坩堝放于加熱室當(dāng)中加熱，使蒸鍍材料受熱而蒸發(fā)為氣體狀態(tài)，進(jìn)而利用此氣態(tài)的蒸鍍材料成膜于基板上。

在有機(jī)發(fā)光顯示裝置的工藝中，亦可利用蒸鍍工藝的方式于基板上形成有機(jī)發(fā)光層。然而，在目前的蒸鍍工藝中，坩堝內(nèi)的有機(jī)發(fā)光材料剩余量無法透過坩堝看到，只能利用工藝參數(shù)的變化以及依據(jù)長(zhǎng)期資料收集的經(jīng)驗(yàn)來做人為判斷，故無法準(zhǔn)確定量坩堝中有機(jī)發(fā)光材料的剩余量，使得材料補(bǔ)充以及設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)的頻率不易掌控而影響到蒸鍍機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)狀況。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的之一在于提供一種蒸鍍裝置，對(duì)蒸鍍材料于坩堝內(nèi)的剩余量進(jìn)行即時(shí)監(jiān)控，掌控蒸鍍材料剩余量。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明的一較佳實(shí)施例提供一種蒸鍍裝置。此蒸鍍裝置包括一加熱室、一坩堝以及至少一溫度測(cè)量元件。坩堝設(shè)置于加熱室中，用以盛裝一蒸鍍材料。溫度測(cè)量元件的一測(cè)量端設(shè)置于坩堝內(nèi)部。

上述的蒸鍍裝置，其中該溫度測(cè)量元件用以測(cè)量該蒸鍍材料的溫度或該坩堝內(nèi)的環(huán)境溫度，以監(jiān)控該蒸鍍材料位于該坩堝內(nèi)的容量。

上述的蒸鍍裝置，其中該溫度測(cè)量元件的該測(cè)量端設(shè)置于該坩堝內(nèi)一警示剩余量的高度，當(dāng)所測(cè)量的溫度低于一預(yù)定溫度表示該蒸鍍材料的剩余量低于警示剩余量。

上述的蒸鍍裝置，其中該至少一溫度測(cè)量元件包括多個(gè)溫度測(cè)量元件，且該等溫度測(cè)量元件的各該測(cè)量端設(shè)置于該坩堝內(nèi)的高度彼此相異，用以監(jiān)控不同剩余量的該蒸鍍材料。

上述的蒸鍍裝置，其中該溫度測(cè)量元件包括一熱電對(duì)(thermal?couple)。

上述的蒸鍍裝置，其中還包括一記錄器，設(shè)置于該加熱室之外，其中該溫度測(cè)量元件設(shè)置于該坩堝外的另一端與該記錄器相連，用以傳遞溫度測(cè)量結(jié)果至該記錄器。

上述的蒸鍍裝置，其中還包括一加熱器，設(shè)置于該加熱室的一外側(cè)，用以對(duì)該蒸鍍材料進(jìn)行加熱。

上述的蒸鍍裝置，其中該加熱室包括一主體以及一外蓋，該外蓋設(shè)置于該主體上，且該外蓋具有至少一噴嘴，用以逸出被汽化的該蒸鍍材料。

上述的蒸鍍裝置，其中該溫度測(cè)量元件的該測(cè)量端經(jīng)由該噴嘴而設(shè)置于該坩堝內(nèi)部。

上述的蒸鍍裝置，其中該加熱室包括一圓柱狀加熱室或一長(zhǎng)方體形加熱室。

使用上述的蒸鍍裝置，利用蒸鍍材料的溫度與放置蒸鍍材料的坩堝內(nèi)的環(huán)境溫度之間的差可以對(duì)蒸鍍材料于坩堝內(nèi)的剩余量進(jìn)行即時(shí)監(jiān)控，同時(shí)能夠掌控蒸鍍材料剩余量。

附圖說明

圖1繪示本發(fā)明的第一較佳實(shí)施例的蒸鍍裝置的示意圖；

圖2繪示本發(fā)明的第一較佳實(shí)施例的蒸鍍裝置的溫度測(cè)量元件示意圖；

圖3至圖5繪示本發(fā)明的第一較佳實(shí)施例的蒸鍍裝置的溫度測(cè)量狀況示意圖；

圖6繪示本發(fā)明的第二較佳實(shí)施例的蒸鍍裝置的示意圖；

圖7繪示本發(fā)明的第三較佳實(shí)施例的蒸鍍裝置的示意圖；

圖8繪示本發(fā)明的第四較佳實(shí)施例的蒸鍍裝置的示意圖。

其中，附圖標(biāo)記：

100??蒸鍍裝置????????110??加熱室

110A?主體????????????110B?外蓋

111??噴嘴????????????120??坩堝

130??蒸鍍材料????????130A?被汽化的蒸鍍材料

140??溫度測(cè)量元件????140M?測(cè)量端

141??第一溫度測(cè)量元件????142??第二溫度測(cè)量元件

143??第三溫度測(cè)量元件????144??第四溫度測(cè)量元件

150??加熱器??????????????160??絕熱塊

170??記錄器??????????????200??蒸鍍裝置

300??蒸鍍裝置????????????400??蒸鍍裝置

410??加熱室??????????????410A?主體

410B?外蓋????????????????420??坩堝

具體實(shí)施方式

為使本領(lǐng)域技術(shù)人員能更進(jìn)一步了解本發(fā)明，下文特列舉本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并配合所附附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的構(gòu)成內(nèi)容及所欲達(dá)成的功效。