[發明專利]蒸鍍裝置

無效

• 申請號: 201310102167.4
• 申請日: 2013-03-27
• 公開（公告）號: CN103276358A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 陳益圃;吳雅婷;吳文豪;丁勇升
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;王穎

1.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括：

一加熱室；

一坩堝，設置于該加熱室中，用以盛裝一蒸鍍材料；以及

至少一溫度測量元件，其中該溫度測量元件的一測量端設置于該坩堝內部。

2.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，該溫度測量元件用以測量該蒸鍍材料的溫度或該坩堝內的環境溫度，以監控該蒸鍍材料位于該坩堝內的容量。

3.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，該溫度測量元件的該測量端設置于該坩堝內一警示剩余量的高度，當所測量的溫度低于一預定溫度表示該蒸鍍材料的剩余量低于警示剩余量。

4.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，該至少一溫度測量元件包括多個溫度測量元件，且該等溫度測量元件的各該測量端設置于該坩堝內的高度彼此相異，用以監控不同剩余量的該蒸鍍材料。

5.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，該溫度測量元件包括一熱電對。

6.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，還包括一記錄器，設置于該加熱室之外，其中該溫度測量元件設置于該坩堝外的另一端與該記錄器相連，用以傳遞溫度測量結果至該記錄器。

7.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，還包括一加熱器，設置于該加熱室的一外側，用以對該蒸鍍材料進行加熱。

8.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，該加熱室包括一主體以及一外蓋，該外蓋設置于該主體上，且該外蓋具有至少一噴嘴，用以逸出被汽化的該蒸鍍材料。

9.如權利要求8所述的蒸鍍裝置，其特征在于，該溫度測量元件的該測量端經由該噴嘴而設置于該坩堝內部。

10.如權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，該加熱室包括一圓柱狀加熱室或一長方體形加熱室。