[發明專利]一種鈉摻雜鉬平面濺射靶材的制備方法

有效

• 申請號: 201310099385.7
• 申請日: 2013-03-26
• 公開（公告）號: CN103160791A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 徐從康
• 申請（專利權）人: 無錫舒瑪天科新能源技術有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/08
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種鈉摻雜鉬平面濺射靶材，其特征在于：由鉬原子、鈉原子和氧原子組成，其中鉬原子數占原子總數的85-99%，其余為鈉原子和氧原子，鈉原子和氧原子的數量比為1:2。

2.一種鈉摻雜鉬平面濺射靶材的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

（1）將三氧化鉬與氫氧化鈉在水中反應生成鉬酸鈉水溶液，加熱至100-120℃使鉬酸鈉水溶液蒸干，得無水鉬酸鈉；

（2）將無水鉬酸鈉與鉬粉混勻后于球磨罐中在氬氣保護下球磨，得混合粉料；

（3）將混合粉料置于石墨模具中于冷壓機中加壓成型，得成型料；

（4）將成型料置于石墨模具中于熱壓機中在氮氣保護下加壓成型，即得鈉摻雜鉬平面濺射靶材。

3.根據權利要求1所述的一種鈉摻雜鉬平面濺射靶材的制備方法，其特征在于：步驟（1）中，所述三氧化鉬的純度為99.99%以上，所述三氧化鉬與氫氧化鈉的摩爾比為1：（1-3）。

4.根據權利要求1所述的一種鈉摻雜鉬平面濺射靶材的制備方法，其特征在于：步驟（1）中，反應溫度為50-70℃。

5.根據權利要求1所述的一種鈉摻雜鉬平面濺射靶材的制備方法，其特征在于：步驟（2）中，無水鉬酸鈉與鉬粉的總質量與球磨機中加球的總質量之比為1：（10-100）。

6.根據權利要求1所述的一種鈉摻雜鉬平面濺射靶材的制備方法，其特征在于：步驟（2）中，球磨罐轉速為100-700rpm，球磨時間為30-180min。

7.根據權利要求1所述的一種鈉摻雜鉬平面濺射靶材的制備方法，其特征在于：步驟（3）中，冷壓機加壓為50-350kgf/cm²。

8.根據權利要求1所述的一種鈉摻雜鉬平面濺射靶材的制備方法，其特征在于：步驟（4）中，熱壓機壓力為50-150kgf/cm2；熱壓機溫度為從室溫升到1000-1100℃，溫度上升速率為10-25℃/min，恒溫0.3-0.5h后停止加熱，自然冷卻到室溫。