[發(fā)明專利]傳感器、用于制造傳感器的方法和用于安裝傳感器的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310099164.X
• 申請日: 2013-03-26
• 公開（公告）號: CN103359681B
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發(fā)明（設計）人: H.本策爾;C.舍林
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81C1/00;H01L23/485;H01L21/60;H01L21/58;H01L21/78;G01R33/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 杜荔南,王忠忠

技術領域

本發(fā)明涉及一種傳感器、一種用于制造第一傳感器和至少一個第二傳感器的方法、以及一種用于將傳感器安裝在載體結構上的方法。

背景技術

磁場傳感器如今與加速度傳感器和轉速傳感器組合在殼體中并且用于導航目的。在此，x軸和y軸上的磁場分量借助于磁通門傳感器來測量，而z分量利用霍爾IC來確定。

DE 10 2009 028 815 A1描述了一種具有襯底和磁芯的磁力計。該襯底具有用于生成磁芯中的磁通量的激勵線圈，并且激勵線圈具有被定向為與襯底的主延伸平面基本垂直的線圈截面。

發(fā)明內(nèi)容

在該背景下，利用本發(fā)明提出根據(jù)主權利要求的一種傳感器、一種用于制造第一傳感器和至少一個第二傳感器的方法、以及一種用于將傳感器安裝在載體結構上的方法。有利的擴展方案從相應的從屬權利要求以及下面的描述中得出。

在根據(jù)磁通門/翻轉芯（Flipcore）原理的磁場傳感器、例如磁通門探頭中，將軟磁芯交替地周期性地以飽和驅動。在此，所述芯被兩個反向線圈纏繞。如果在一個（激勵）線圈中例如有鋸齒狀交變電流流動，則該交變電流在另一（接收）線圈中的磁化翻轉時通過共同的軟磁線圈芯中繼地同樣感應出電流。激勵電壓和接收電壓在不存在外部場時為同樣大的，并且由于反向的繞線而抵消。如果現(xiàn)在施加外部磁場，則芯方向上的矢量分量在接收線圈中生成結果得到的信號，該信號與所施加的場成比例。利用該原理，可以測量非常小的磁場。

在液體與氣體的交界面處產(chǎn)生界面張力，該界面張力導致液體具有盡可能小的表面。例如，一滴水呈現(xiàn)盡可能小的球形構造，因為水體積的表面最小。

如果液體到達表面，則液體在該表面上的液滴界限處具有特征接觸角。該接觸角取決于表面與液體的材料配對。如果表面針對液體具有良好的可交聯(lián)性，則接觸角小于90°。如果表面針對液體具有差的可交聯(lián)性，則接觸角大于90°。

本發(fā)明所基于的認識是，例如熔融焊劑的液體的界面張力在該液體在液體的液滴被布置在其間的兩個面處具有小的接觸角和/或可交聯(lián)性的情況下可以拉緊所述兩個面。在此出現(xiàn)的力可以大的足以轉動組件。液體可以是用于將組件安裝在載體材料上的安裝材料。組件尤其是可被液體轉動到傾斜的側，即使該組件已經(jīng)被放置到水平的面上。

本發(fā)明提出一種傳感器，其中該傳感器具有下列特征：

傳感器面，在其上布置傳感器元件，該傳感器元件被構造為接收有向（gerichtet）測量參數(shù)的方向分量；以及

傾斜面，在其上布置至少一個用于接觸傳感器元件的接觸面，其中該傾斜面與傳感器的載體材料的晶格結構具有一角度并且其中該傾斜面被定向在與傳感器面不同的方向上。

另外，本發(fā)明提出一種用于制造第一傳感器和至少一個第二傳感器的方法，其中該方法包括下列步驟：

提供由晶體載體材料制成的晶片，其中在該晶片的傳感器面上布置第一傳感器元件和至少一個第二傳感器元件；

確定晶片的傳感器面上的加工面，其中該加工面布置在第一傳感器元件與第二傳感器元件之間并且將要制造的傳感器元件彼此分離；

在加工面的區(qū)域中除去晶片的一部分，以便制造第一傾斜面和相對的第二傾斜面，其中所述除去在使用各向異性的刻蝕工藝的情況下執(zhí)行，在該各向異性的刻蝕工藝中，在與載體材料的晶格角度成預定角度的情況下除去該載體材料，以便制造傾斜面；

將至少一個用于接觸第一傳感器元件的第一接觸面置入到第一傾斜面中并且將至少一個用于接觸第二傳感器元件的第二接觸面置入到第二傾斜面中；以及

分離第一傾斜面與第二傾斜面之間的傳感器，以便分開所述傳感器。

此外，本發(fā)明提出一種用于將傳感器安裝在載體結構上的方法，其中傳感器具有傳感器面，在該傳感器面上布置傳感器元件，該傳感器元件被構造為接收有向測量參數(shù)的方向分量，并且該傳感器具有傾斜面，在該傾斜面上布置至少一個用于接觸傳感器元件的接觸面，其中傾斜面與傳感器的載體材料的晶格結構具有一角度并且其中該傾斜面被定向在與該傳感器面不同的方向上，其中該方法包括下列步驟：

將傳感器放置在載體結構上，其中傳感器的傾斜面在安裝面上與載體結構的表面成銳角，并且其中傾斜面和/或安裝面的至少一個部分區(qū)域被安裝材料覆蓋。

使布置在安裝面上的安裝材料液化，以便在使用液化的安裝材料的界面張力的情況下通過傾斜傳感器將傾斜面布置到安裝面上的邊之上；以及

使安裝材料硬化，以便將傳感器與載體結構連接。