日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發(fā)明專利]傳感器、用于制造傳感器的方法和用于安裝傳感器的方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201310099164.X 申請(qǐng)日: 2013-03-26
公開(kāi)(公告)號(hào): CN103359681B 公開(kāi)(公告)日: 2017-11-10
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: H.本策爾;C.舍林 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 羅伯特·博世有限公司
主分類號(hào): B81B7/02 分類號(hào): B81B7/02;B81C1/00;H01L23/485;H01L21/60;H01L21/58;H01L21/78;G01R33/04
代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司72001 代理人: 杜荔南,王忠忠
地址: 德國(guó)斯*** 國(guó)省代碼: 暫無(wú)信息
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 傳感器 用于 制造 方法 安裝
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種傳感器(100),其中傳感器(100)具有下列特征:

基體,其具有用于將傳感器以第一空間方向固定在載體結(jié)構(gòu)處的第一固定面和至少一個(gè)用于將傳感器以第二空間方向固定在載體結(jié)構(gòu)處的第二固定面,

傳感器面(102),在其上布置傳感器元件(106),所述傳感器元件(106)被構(gòu)造為接收有向測(cè)量參數(shù)的方向分量,其中所述傳感器面置入在第一固定面中;以及

傾斜面(104),在其上布置至少一個(gè)用于接觸傳感器元件(106)的接觸面(108),其中所述傾斜面置入在第二固定面中,并且其中傾斜面(104)與傳感器(100)的載體材料(400)的晶格結(jié)構(gòu)具有一角度并且其中傾斜面(104)被定向在與傳感器面(102)不同的方向上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器(100),其中傳感器面(102)和傾斜面(104)具有共同的邊。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的傳感器(100),其中在傳感器面(102)上布置至少一個(gè)另外的接觸面,其中所述另外的接觸面比傾斜側(cè)(104)上的接觸面(108)具有更小的尺寸。

4.一種用于制造第一傳感器(100)和至少一個(gè)第二傳感器(100)的方法(200),其中該方法(200)包括下列步驟:

提供(202)由晶體載體材料制成的晶片(400),其中在晶片(400)的傳感器面(102)上布置第一傳感器元件(106)和至少一個(gè)第二傳感器元件(106);

確定(204)晶片(400)的傳感器面(102)上的加工面(404),其中加工面(404)布置在第一傳感器元件(106a,c)與第二傳感器元件(106b,d)之間并且將要制造的傳感器元件(106a-d)彼此分離;

在加工面(404)的區(qū)域中除去(206)晶片(400)的一部分,以便制造第一傾斜面(104)和相對(duì)的第二傾斜面(104),其中所述除去在使用各向異性的刻蝕工藝的情況下執(zhí)行,在所述各向異性的刻蝕工藝中,在與載體材料(400)的晶格結(jié)構(gòu)成一定角度的情況下除去載體材料(400),以便制造傾斜面(104);

將至少一個(gè)用于接觸第一傳感器元件(106)的第一接觸面(108)置入(208)到第一傾斜面(104)中;

分離(210)第一傾斜面(104)與第二傾斜面(104)之間的傳感器(100),以便分開(kāi)傳感器(100);以及

露出所述傳感器面和所述接觸面,以便利用傳感器面將傳感器以第一空間方向固定在載體結(jié)構(gòu)處以及利用接觸面將傳感器以第二空間方向固定在載體結(jié)構(gòu)處。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法(200),其中除了將至少一個(gè)用于接觸第一傳感器元件(106)的第一接觸面(108)置入(208)到第一傾斜面(104)中以外,還將至少一個(gè)用于接觸第二傳感器元件(106)的第二接觸面(108)置入到第二傾斜面(104)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的方法(200),其中在確定步驟(204)中在使用所期望的加工深度與預(yù)定的角度之間的關(guān)聯(lián)的情況下確定加工面(404)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的方法(200),其中在確定步驟(204)中,確定晶片(400)的與傳感器面(102)相對(duì)的下側(cè)上的第二加工面(404),并且在除去步驟(206)中,在使用各向異性的刻蝕工藝的情況下除去第二加工面(404)的區(qū)域中的載體材料(400),以便制造另外的傾斜面。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法(200),其中在確定步驟(204)中,將下側(cè)上的第二加工面(404)確定為與傳感器面(102)上的加工面(404)成預(yù)定的側(cè)面偏移。

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分,VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于羅伯特·博世有限公司,未經(jīng)羅伯特·博世有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310099164.X/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。

×

專利文獻(xiàn)下載

說(shuō)明:

1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說(shuō)明書(shū);

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖、流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖;

5、已全新升級(jí)為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請(qǐng)您登陸后,進(jìn)行下載,點(diǎn)擊【登陸】 【注冊(cè)】

關(guān)于我們 尋求報(bào)道 投稿須知 廣告合作 版權(quán)聲明 網(wǎng)站地圖 友情鏈接 企業(yè)標(biāo)識(shí) 聯(lián)系我們

鉆瓜專利網(wǎng)在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢?cè)诰€客服咨詢?cè)诰€客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 亚洲国产精品一区在线| 国产69精品久久99不卡免费版| 日本一区二区免费电影| 午夜无人区免费网站| 日韩av在线中文| 欧美色综合天天久久综合精品| 免费午夜在线视频| 美女张开腿黄网站免费| 久久精品欧美一区二区| 中文字幕在线播放一区| 精品国产乱码久久久久久影片| 91超碰caoporm国产香蕉| 亚洲国产精品国自产拍av| 国产亚洲精品久久久456| 国产女人好紧好爽| 国内久久久| 欧美精品中文字幕亚洲专区| 欧美日韩国产区| 真实的国产乱xxxx在线91| 国产精品一区二区在线观看 | 国产亚洲精品久久777777 | 国产精品高潮呻吟视频| 激情久久一区二区三区| 国产黄色一区二区三区| 国产一区二区电影在线观看| 欧美日韩国产一级| 在线亚洲精品| 精品国产91久久久| 午夜国产一区二区三区| 午夜情所理论片| 国产aⅴ精品久久久久久| 5g影院天天爽入口入口| 大bbw大bbw巨大bbb| 欧美精品中文字幕亚洲专区| 国内少妇偷人精品视频免费| 亚洲国产精品精品| 国产欧美一区二区精品婷| 国产高潮国产高潮久久久91| 亚洲精品少妇久久久久| 免费久久一级欧美特大黄| 福利片91| 国产99网站| 热99re久久免费视精品频软件| 午夜电影三级| 国产乱人乱精一区二视频国产精品 | 国产精品v欧美精品v日韩| 91午夜在线| 6080日韩午夜伦伦午夜伦| 亚洲精品日本无v一区| 国产伦精品一区二区三区四区| 国产99久久久精品视频| 久久黄色精品视频| 性生交大片免费看潘金莲| 亚洲精品久久久久www| 午夜电影一区二区| 久久九精品| 亚洲v欧美v另类v综合v日韩v| 国产第一区在线观看| 午夜黄色一级电影| 国产二区视频在线播放| 亚洲欧美一区二区三区三高潮| 国产在线欧美在线| 夜夜爽av福利精品导航| 久久精品国产久精国产| 国产jizz18女人高潮| 国产在线拍偷自揄拍视频| 91免费视频国产| 日本精品三区| 国产欧美精品久久| 国产午夜精品一区二区理论影院| 蜜臀久久99精品久久一区二区| 小萝莉av| 国产视频在线一区二区| 久久激情图片| 国产午夜精品一区| 91超碰caoporm国产香蕉| 国产午夜精品一区二区三区欧美| 国产91九色在线播放| 日韩精品乱码久久久久久| 99国产精品免费观看视频re| 99精品欧美一区二区| 精品中文久久| 99久热精品| 国产一区二区二| 91久久一区二区| 日韩精品免费一区二区中文字幕 | 午夜伦全在线观看| 国产综合久久精品| 亚洲欧洲一区二区| 久久综合国产精品| 99国产精品久久久久99打野战 | 91精品久久天干天天天按摩| 国产精品伦一区二区三区级视频频 | 欧美日韩一区二区三区不卡| 国产精品国精产品一二三区| 淫片免费看| 少妇久久精品一区二区夜夜嗨| 国产精品高潮呻吟视频| 国产精品二区一区二区aⅴ| 国产日韩欧美精品一区 | 日韩精品一区中文字幕| 午夜伦全在线观看| 天啦噜国产精品亚洲精品| 91精品一区在线观看| 中文字幕天天躁日日躁狠狠躁免费| 99久久精品国产系列| 99久久夜色精品| 天摸夜夜添久久精品亚洲人成 | 日本一区二区三区电影免费观看| 午夜av片| 国产色午夜婷婷一区二区三区| 亚洲一区欧美| 国产女人和拘做受在线视频| 午夜影院一区二区| 国产麻豆91视频| 久久精品综合| 亚洲精品一区在线| 丝袜诱惑一区二区三区| 国产在线播放一区二区 | 久久国产中文字幕| 中文字幕一区三区| 久久午夜精品福利一区二区| 国产精品久久久不卡| 国产伦精品一区二区三区无广告| 日韩偷拍精品| 午夜wwww| **毛片在线免费观看| 欧美日韩卡一卡二| 日韩区欧美久久久无人区| 精品久久久久99| 日本高清h色视频在线观看| 香蕉av一区| 国产精品三级久久久久久电影| 99re6国产露脸精品视频网站| 日韩精品免费一区二区在线观看| 夜色av网| 国产精品久久久久久久新郎| 欧美一区二区三区另类| 日日噜噜夜夜狠狠| 精品少妇一区二区三区免费观看焕| 国产中文字幕91| 国产精品九九九九九| 欧美精品久| 国产精品电影免费观看| 久久五月精品| 91久久免费| 午夜精品一区二区三区三上悠亚| 四虎国产精品永久在线国在线 | 99国产午夜精品一区二区天美| 四虎国产精品永久在线| 国产69精品久久| 国产精欧美一区二区三区久久| 久久亚洲精品国产一区最新章节| 在线国产精品一区二区| 精品国产乱码一区二区三区a| 国产原创一区二区| 国产在线视频99| 精品美女一区二区三区| 亚洲乱亚洲乱妇50p| 亚洲精华国产欧美| 久久久精品99久久精品36亚 | 在线精品一区二区| 免费观看xxxx9999片| 国产在线一二区| 伊人av中文av狼人av| 免费看欧美中韩毛片影院| 欧美日韩一级黄| 国产一区二区精华| 国产精品v欧美精品v日韩精品v | 麻豆精品久久久| 在线观看黄色91| 电影91久久久| 国产精品一二二区| 91精品丝袜国产高跟在线| 国产一区二区三区影院| 国产精品99在线播放| 天干天干天干夜夜爽av| 偷拍久久精品视频| 久久国产精品广西柳州门| 国产精品一区二区中文字幕| 精品国产免费一区二区三区| 国产视频一区二区在线| 精品久久不卡| 国产白丝一区二区三区| 中文字幕日韩精品在线| 91精品一区在线观看| 51区亚洲精品一区二区三区| 97人人澡人人爽91综合色| 97久久国产精品| 日韩精品一二区| 国产婷婷一区二区三区久久| 亚洲福利视频二区| 日韩av免费电影| 欧美精品一区二区三区在线四季| 欧美一区二区三区免费在线观看| 日韩欧美中文字幕一区| 欧美精品六区| 强制中出し~大桥未久在线播放| 国产午夜精品一区二区三区欧美| 国产男女乱淫真高清视频免费| 精品美女一区二区三区| 国产一区二区国产| 97欧美精品| 精品国产乱码一区二区三区a | 日韩欧美一区精品| 国产一区在线视频播放| 国产女性无套免费看网站| 性生交大片免费看潘金莲| 日韩精品一二区| 国产精品入口麻豆九色| 黄色av免费| 日韩一区免费| 国产日韩欧美在线一区| 日韩亚洲精品在线观看| 日韩有码一区二区三区| 国产乱色国产精品播放视频| 国产精品久久亚洲7777| 综合欧美一区二区三区| 国产乱淫精品一区二区三区毛片| 午夜肉伦伦| 中文字幕国内精品| 久久一级精品视频| 国产又色又爽无遮挡免费动态图| 国产精品电影免费观看| 日韩av在线影视| 国产精品一区二区免费| 狠狠色狠狠色综合久久一| 国产一区二区三区伦理| 欧美日韩亚洲三区| 日韩精品一区三区| 最新国产精品久久精品| 午夜裸体性播放免费观看| 精品国产免费一区二区三区| 日韩亚洲精品视频| 99精品小视频| 亚洲欧美国产日韩色伦| 亚洲精品456| 久久久久亚洲最大xxxx| 欧美一级久久精品| 国产在线精品一区| 海量av在线| 高清欧美精品xxxxx| 久久99精品国产| 538在线一区二区精品国产| 91丝袜诱惑| 亚洲日韩aⅴ在线视频|