[發(fā)明專利]傳感器、用于制造傳感器的方法和用于安裝傳感器的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310099164.X
• 申請(qǐng)日: 2013-03-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103359681B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: H.本策爾;C.舍林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號(hào): B81B7/02
• 分類號(hào): B81B7/02;B81C1/00;H01L23/485;H01L21/60;H01L21/58;H01L21/78;G01R33/04
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 杜荔南,王忠忠

1.一種傳感器（100），其中傳感器（100）具有下列特征：

基體，其具有用于將傳感器以第一空間方向固定在載體結(jié)構(gòu)處的第一固定面和至少一個(gè)用于將傳感器以第二空間方向固定在載體結(jié)構(gòu)處的第二固定面，

傳感器面（102），在其上布置傳感器元件（106），所述傳感器元件（106）被構(gòu)造為接收有向測(cè)量參數(shù)的方向分量，其中所述傳感器面置入在第一固定面中；以及

傾斜面（104），在其上布置至少一個(gè)用于接觸傳感器元件（106）的接觸面（108），其中所述傾斜面置入在第二固定面中，并且其中傾斜面（104）與傳感器（100）的載體材料（400）的晶格結(jié)構(gòu)具有一角度并且其中傾斜面（104）被定向在與傳感器面（102）不同的方向上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器（100），其中傳感器面（102）和傾斜面（104）具有共同的邊。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的傳感器（100），其中在傳感器面（102）上布置至少一個(gè)另外的接觸面，其中所述另外的接觸面比傾斜側(cè)（104）上的接觸面（108）具有更小的尺寸。

4.一種用于制造第一傳感器（100）和至少一個(gè)第二傳感器（100）的方法（200），其中該方法（200）包括下列步驟：

提供（202）由晶體載體材料制成的晶片（400），其中在晶片（400）的傳感器面（102）上布置第一傳感器元件（106）和至少一個(gè)第二傳感器元件（106）；

確定（204）晶片（400）的傳感器面（102）上的加工面（404），其中加工面（404）布置在第一傳感器元件（106a,c）與第二傳感器元件（106b,d）之間并且將要制造的傳感器元件（106a-d）彼此分離；

在加工面（404）的區(qū)域中除去（206）晶片（400）的一部分，以便制造第一傾斜面（104）和相對(duì)的第二傾斜面（104），其中所述除去在使用各向異性的刻蝕工藝的情況下執(zhí)行，在所述各向異性的刻蝕工藝中，在與載體材料（400）的晶格結(jié)構(gòu)成一定角度的情況下除去載體材料（400），以便制造傾斜面（104）；

將至少一個(gè)用于接觸第一傳感器元件（106）的第一接觸面（108）置入（208）到第一傾斜面（104）中；

分離（210）第一傾斜面（104）與第二傾斜面（104）之間的傳感器（100），以便分開(kāi)傳感器（100）；以及

露出所述傳感器面和所述接觸面，以便利用傳感器面將傳感器以第一空間方向固定在載體結(jié)構(gòu)處以及利用接觸面將傳感器以第二空間方向固定在載體結(jié)構(gòu)處。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法（200），其中除了將至少一個(gè)用于接觸第一傳感器元件（106）的第一接觸面（108）置入（208）到第一傾斜面（104）中以外，還將至少一個(gè)用于接觸第二傳感器元件（106）的第二接觸面（108）置入到第二傾斜面（104）上。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的方法（200），其中在確定步驟（204）中在使用所期望的加工深度與預(yù)定的角度之間的關(guān)聯(lián)的情況下確定加工面（404）。

7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的方法（200），其中在確定步驟（204）中，確定晶片（400）的與傳感器面（102）相對(duì)的下側(cè)上的第二加工面（404），并且在除去步驟（206）中，在使用各向異性的刻蝕工藝的情況下除去第二加工面（404）的區(qū)域中的載體材料（400），以便制造另外的傾斜面。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法（200），其中在確定步驟（204）中，將下側(cè)上的第二加工面（404）確定為與傳感器面（102）上的加工面（404）成預(yù)定的側(cè)面偏移。