[發(fā)明專利]空氣離子清洗裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310098906.7
• 申請(qǐng)日: 2013-03-26
• 公開（公告）號(hào): CN104070042A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張仁淙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B7/00
• 分類號(hào): B08B7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種空氣離子清洗裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)下，對(duì)于準(zhǔn)備封裝的圖像傳感器通常還需要人為來操作機(jī)臺(tái)，由此將會(huì)導(dǎo)致圖像傳感器被污染。因此，客戶在要求封裝圖像傳感器時(shí)，都需要嚴(yán)格的限制可容許在圖像傳感器上的離子的數(shù)量。鑒于此，有必要提供一種可對(duì)圖像傳感器表面上的離子進(jìn)行處理的清洗裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種空氣離子清洗裝置,旨在解決上述的問題。

本發(fā)明用于提供一種空氣離子清洗裝置，該空氣離子清洗裝置用于對(duì)圖像傳感器表面的離子進(jìn)行清洗，該空氣離子清洗裝置包括有氣體輸入裝置、與氣體輸入裝置連接的平板電極，置于平板電極間的電磁閥、置于平板電極兩側(cè)的高壓射頻電壓源、置于平板電極下方的多個(gè)支撐部，及置于支撐部兩側(cè)的兩個(gè)抽真空裝置，該支撐部用于放置待清洗的圖像傳感器，該氣體輸入裝置用于向平板電極之間輸入混合氣體，該高壓射頻電壓源用于游離平板電極之間的氣體，產(chǎn)生帶電的氣體組合，該電磁閥用于控制氣體輸入裝置向平板電極間輸入混合氣體的流量，該帶電的氣體組合流向至圖像傳感器表面以使該圖像傳感器的表面帶電，及使得該圖像傳感器表面的離子被離子化為帶電離子，該抽真空裝置用于將圖像傳感器表面帶電的離子抽離到外部吸集器。

本發(fā)明的空氣離子清洗裝置，其通過空氣離子對(duì)圖像傳感器表面的離子進(jìn)行清洗，以此避免在清洗的同時(shí)對(duì)圖像傳感器再次污染。

附圖說明

圖1為本發(fā)明空氣離子清洗裝置的硬件結(jié)構(gòu)圖。

主要元件符號(hào)說明

如下具體實(shí)施方式將結(jié)合上述附圖進(jìn)一步說明本發(fā)明。

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參考圖1所示，為一種空氣離子清洗裝置100的硬件結(jié)構(gòu)圖。該空氣離子清洗裝置100用于對(duì)圖像傳感器6表面的離子進(jìn)行清洗。

該空氣離子清洗裝置100包括有氣體輸入裝置1、與氣體輸入裝置1連接的平板電極2、置于平板電極2間的電磁閥3、置于平板電極2兩側(cè)的高壓射頻電壓源8、置于平板電極2下方的多個(gè)可移動(dòng)的支撐部5、置于支撐部5兩側(cè)的兩個(gè)抽真空裝置4及分別設(shè)置抽真空裝置4外的高壓游離電極7。該圖像傳感器6置于該支撐部5上。

該氣體輸入裝置1用于向平板電極2之間輸入混合氣體。本實(shí)施方式中，該氣體輸入裝置1輸入至平板電極2間的混合氣體包括有氧氣及氬氣。該高壓射頻電壓源8用于驅(qū)使平板電極2之間的氣體游離，并產(chǎn)生帶電的氣體組合。該電磁閥3用于控制氣體輸入裝置1向平板電極2間輸入的混合氣體的流量。在清洗圖像傳感器6時(shí)，該帶電的氣體組合流向至圖像傳感器6表面以使該圖像傳感器6的表面帶電，該圖像傳感器6表面的離子被離子化為帶電離子。由于圖像傳感器6帶電表面的電性與圖像傳感器6表面的帶電離子的電性相同，因此兩者相斥，該抽真空裝置4用于在圖像傳感器6帶電表面與圖像傳感器6表面的帶電離子相斥時(shí)，很容易將圖像傳感器6表面帶電的離子抽離到一個(gè)外部吸集器（未標(biāo)示）內(nèi)。在抽真空裝置4將圖像傳感器6表面帶電的離子抽離到外部吸集器內(nèi)時(shí)，可能會(huì)將外部氣體帶入導(dǎo)致該圖像傳感器6被再次污染，因此該置于抽真空裝置4外的高壓游離電極7用于將抽真空裝置4在抽離圖像傳感器6表面帶電的離子時(shí)所吸入的空氣進(jìn)行游離帶電，之后在由抽真空裝置4將氣體游離后的帶電離子抽離至外部吸集器內(nèi)，以防止外部氣體再次污染該圖像傳感器6。

進(jìn)一步地，由于該平板電極2每次只能對(duì)一個(gè)圖像傳感器6表面的離子進(jìn)行清洗，因此，該空氣離子清洗裝置100還包括有固定于支撐部5下方的傳送裝置9，該傳送裝置9用于傳送該支撐部5，以將清洗完成的圖像傳感器6移走，而將另外一個(gè)支撐部5移動(dòng)至平板電極2下方，以將另外一個(gè)待清洗的圖像傳感器6表面的離子進(jìn)行清洗。