[發明專利]空氣離子清洗裝置

無效

• 申請號: 201310098906.7
• 申請日: 2013-03-26
• 公開（公告）號: CN104070042A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發明（設計）人: 張仁淙
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種空氣離子清洗裝置，該空氣離子清洗裝置用于對圖像傳感器表面的離子進行清洗，其特征在于：該空氣離子清洗裝置包括有氣體輸入裝置、與氣體輸入裝置連接的平板電極，置于平板電極間的電磁閥、置于平板電極兩側的高壓射頻電壓源、置于平板電極下方的多個支撐部，及置于支撐部兩側的兩個抽真空裝置，該支撐部用于放置待清洗的圖像傳感器，該氣體輸入裝置用于向平板電極之間輸入混合氣體，該高壓射頻電壓源用于游離平板電極之間的氣體，產生帶電的氣體組合，該電磁閥用于控制氣體輸入裝置向平板電極間輸入混合氣體的流量，該帶電的氣體組合流向至圖像傳感器表面以使該圖像傳感器的表面帶電，及使得該圖像傳感器表面的離子被離子化為帶電離子，該抽真空裝置用于將圖像傳感器表面帶電的離子抽離到外部吸集器。

2.如權利要求1所述的空氣離子清洗裝置，其特征在于：該空氣離子清洗裝置還包括有分別設置于抽真空裝置外的高壓游離電極，該高壓游離電極用于將抽真空裝置在抽離圖像傳感器表面帶電的離子時所吸入的空氣游離為帶電離子。

3.如權利要求1所述的空氣離子清洗裝置，其特征在于：該氣體輸入裝置輸入至平板電極間的混合氣體包括有氧氣及氬氣。

4.如權利要求1所述的空氣離子清洗裝置，其特征在于：該空氣離子清洗裝置還包括有固定于支撐部下方的傳送裝置，該傳送裝置用于傳送該支撐部。