[發明專利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造裝置

有效

• 申請號: 201310098717.X
• 申請日: 2012-03-30
• 公開（公告）號: CN103183463B
• 公開（公告）日: 2017-08-01
• 發明（設計）人: 前田伸廣;苅谷浩幸
• 申請（專利權）人: 安瀚視特控股株式會社
• 主分類號: C03B17/06
• 分類號: C03B17/06
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 黨曉林,王小東

1.一種玻璃基板的制造方法，采用下拉法使熔融玻璃自成形體溢流而成形為平板玻璃，并一面在流下方向拉伸上述平板玻璃，一面加以冷卻，用以制造玻璃基板的方法，并且，

上述成形體正下方的平板玻璃的黏度為10^5.7～10^7.5泊，

在上述平板玻璃從上述成形體分離后，當上述平板玻璃的溫度處于自高于軟化點的溫度至緩冷點附近的溫度區域內時，通過與上述平板玻璃接觸的第1熱處理單元在自成形體分離的平板玻璃的溫度處于高于軟化點的溫度區域內時，對上述平板玻璃的與中央區域相比具有較多熱量的側部進行熱處理，之后，通過與上述平板玻璃相隔而設置的第2熱處理單元在平板玻璃的溫度處于自軟化點附近至緩冷點附近的溫度區域內時，對上述平板玻璃的上述側部進行熱處理，上述第1熱處理單元及上述第2熱處理單元一面向上述平板玻璃的上述側部施加張力，一面將上述側部的黏度維持在10^9.0～10^14.5泊的范圍內加以冷卻，

使用上述第1熱處理單元，對上述成形體正下方的上述平板玻璃進行急冷，將上述平板玻璃急冷成使上述平板玻璃的側部的黏度成為10^9.0泊以上，在將上述平板玻璃急冷后，使用上述第2熱處理單元，將冷卻能量降至低于急冷時來冷卻上述側部，以使上述側部的黏度維持在10^10.5～10^14.5泊的范圍內。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中，

以使上述平板玻璃的側部的黏度沿著上述流下方向增高的方式加以冷卻。

3.根據權利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中，

在上述自高于軟化點的溫度至緩冷點附近的溫度區域內進行如下步驟：

使上述平板玻璃的板厚在寬度方向上均勻化的板厚均勻化步驟；及

在板厚均勻化處理后，用以減少上述平板玻璃的翹曲的翹曲減少步驟。

4.一種玻璃基板的制造方法，采用下拉法使熔融玻璃自成形體溢流而成形為平板玻璃，并一面于流下方向拉伸上述平板玻璃，一面加以冷卻，藉此制造玻璃基板的方法，并且，

上述成形體正下方的平板玻璃的黏度為10^5.7～10^7.5泊，

在上述平板玻璃從上述成形體分離后，當上述平板玻璃的溫度處于自高于軟化點的溫度至緩冷點附近的溫度區域內時，通過與上述平板玻璃接觸的第1熱處理單元在自成形體分離的平板玻璃的溫度處于高于軟化點的溫度區域內時，對上述平板玻璃的與中央區域相比具有較多熱量的側部進行熱處理，之后，通過與上述平板玻璃相隔而設置的第2熱處理單元在平板玻璃的溫度處于自軟化點附近至緩冷點附近的溫度區域內時，對上述平板玻璃的上述側部進行熱處理，上述第1熱處理單元及上述第2熱處理單元一面向上述平板玻璃的寬度方向的兩側部沿著上述平板玻璃的寬度方向施加張力，一面將上述側部的黏度維持在10^9.0～10^14.5泊的范圍內并加以冷卻，

使用上述第1熱處理單元，對上述成形體正下方的上述平板玻璃進行急冷，將上述平板玻璃急冷成使上述平板玻璃的側部的黏度成為10^9.0泊以上，在將上述平板玻璃急冷后，使用上述第2熱處理單元，將冷卻能量降至低于急冷時來冷卻上述側部，以使上述側部的黏度維持在10^10.5～10^14.5泊的范圍內。

5.根據權利要求4所述的玻璃基板的制造方法，

其以沿著上述流下方向使上述平板玻璃的側部的黏度增高的方式加以冷卻。

6.根據權利要求4所述的玻璃基板的制造方法，其中，

使用作為上述第1熱處理單元的冷卻輥使成形體正下方的上述平板玻璃急冷，以使上述側部的黏度成為10^9.0～10^10.5泊的范圍內。

7.根據權利要求6所述的玻璃基板的制造方法，其中，

使用與上述平板玻璃相隔而設置的作為上述第2熱處理單元的冷卻單元，將經上述冷卻輥急冷的上述平板玻璃冷卻，藉此將上述側部的黏度維持在10^10.5～10^14.5泊的范圍內。

8.根據權利要求4或5所述的玻璃基板的制造方法，其中，

在上述自高于軟化點的溫度至緩冷點附近的溫度區域內進行如下步驟：

用以使上述平板玻璃的板厚在寬度方向上均勻化的板厚均勻化步驟；及

板厚均勻化處理后，用以減少上述平板玻璃的翹曲的翹曲減少步驟。