[發(fā)明專利]晶片收納方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310096181.8 | 申請日: | 2013-03-25 |
| 公開(公告)號: | CN103367212A | 公開(公告)日: | 2013-10-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 中村勝 | 申請(專利權(quán))人: | 株式會社迪思科 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人: | 黨曉林;王小東 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 晶片 收納 方法 | ||
1.一種晶片收納方法,用于將在通過多條交叉的分割預定線劃分出的區(qū)域形成有器件的晶片收納到盒中,所述晶片收納方法包括:
改性層形成工序,將聚光點定位到分割預定線的內(nèi)部地對晶片照射相對于晶片具有透射性的波長的激光光線,沿著該分割預定線形成改性層;以及
收納工序,將沿著該分割預定線形成有改性層的晶片收納到盒中,該盒至少具有:開口部,其容許晶片的進出;一對側(cè)壁,其設(shè)置于該開口部的兩側(cè)部;以及支撐擱板,其對置地形成于該一對側(cè)壁的內(nèi)側(cè)面且從該開口部設(shè)置到背部,
在上述收納工序中,以上述分割預定線的方向與上述支撐擱板交叉的方式收納上述晶片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片收納方法,其中,
在上述收納工序中,以形成于上述晶片的分割預定線的方向相對于上述支撐擱板以45度的角度交叉的方式收納晶片。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





