[發(fā)明專(zhuān)利]一種真空鍍膜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310093402.6
• 申請(qǐng)日: 2013-03-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103147052A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐海波;仲梁維
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海理工大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/34
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 上海德昭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31204
• 代理人: 郁旦蓉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種真空鍍膜裝置。

背景技術(shù)

在真空鍍膜裝置中，通常將待鍍膜的基片放入真空室內(nèi)，并由安裝在基片承載部上的夾具對(duì)基片進(jìn)行夾持，然后由轉(zhuǎn)動(dòng)軸帶動(dòng)基片承載部轉(zhuǎn)動(dòng)，并由離子源對(duì)置放在鍍膜材料置放部的鍍膜材料進(jìn)行轟擊，使鍍膜材料濺射并均勻沉積在基片表面。

但是在上述鍍膜過(guò)程中，鍍膜材料不僅被濺射到基片上，而且也會(huì)被濺射到基片承載部上，在多次鍍膜后基片承載部上就會(huì)沉積相當(dāng)多的鍍膜材料，使得鍍膜材料得不到充分地利用，這就造成了鍍膜材料的浪費(fèi)，同時(shí)，由于這些鍍膜材料通常為昂貴的金屬材料，因而也大大增加了鍍膜的成本。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上問(wèn)題點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠充分利用鍍膜材料進(jìn)行鍍膜的真空鍍膜裝置。

本發(fā)明為了達(dá)到以上的目的，采用了以下結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的一種真空鍍膜裝置，用于將鍍膜材料鍍到基片上，含有：真空室、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、鍍膜材料置放部支撐座以及對(duì)基片進(jìn)行夾持的復(fù)數(shù)個(gè)夾具，其特征在于，還具有：兩個(gè)鍍膜鍋，一個(gè)作為基板，另一個(gè)作為用于置放鍍膜材料的鍍膜材料置放部；和一個(gè)基板承載部，與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連，用于承載作為基板的鍍膜鍋和裝載復(fù)數(shù)個(gè)夾具，其中，鍍膜鍋包括：鍋底板、與該鍋底板固定相連并環(huán)繞鍋底板設(shè)置的鍋身，鍋底板含有：定位凸臺(tái)、與夾具的形狀相對(duì)應(yīng)并且個(gè)數(shù)相等的復(fù)數(shù)個(gè)貫穿孔、第一連接部以及第二連接部，第一連接部與基板承載部相對(duì)應(yīng)，用于當(dāng)鍍膜鍋?zhàn)鳛榛鍟r(shí)與基板承載部相連接，第二連接部與鍍膜材料置放部支撐座相對(duì)應(yīng)，用于當(dāng)鍍膜鍋?zhàn)鳛殄兡げ牧现梅挪繒r(shí)與鍍膜材料置放部支撐座相連接，基板承載部包含：與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相匹配的定位座和與該定位座固定相連的承載板，定位座與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連，承載板上設(shè)有：與定位凸臺(tái)相對(duì)應(yīng)的定位凹槽、與第一連接部相對(duì)應(yīng)的連接固定部以及與復(fù)數(shù)個(gè)貫穿孔和復(fù)數(shù)個(gè)夾具相對(duì)應(yīng)用于連接該復(fù)數(shù)個(gè)夾具的夾具裝載部，當(dāng)鍍膜鍋?zhàn)鳛榛鍟r(shí)，夾具的連接軸穿過(guò)貫穿孔與夾具裝載部相連。

進(jìn)一步地，在本發(fā)明的真空鍍膜裝置中，還可以具有這樣的特征：定位凸臺(tái)上設(shè)有第一外螺紋、定位凹槽內(nèi)設(shè)有與第一外螺紋相匹配的第一內(nèi)螺紋，在鍋底板作為基板時(shí)，定位凸臺(tái)與定位凹槽通過(guò)第一外螺紋與第一內(nèi)螺紋相連接。

進(jìn)一步地，在本發(fā)明的真空鍍膜裝置中，還可以具有這樣的特征：第一連接部含有若干個(gè)第一螺紋孔，連接固定部含有：與第一螺紋孔的形狀相對(duì)應(yīng)，并且個(gè)數(shù)與若干個(gè)第一螺紋孔的個(gè)數(shù)相同的若干個(gè)第二螺紋孔；以及與第一螺紋孔和第二螺紋孔相對(duì)應(yīng)，并且個(gè)數(shù)與第二螺紋孔的個(gè)數(shù)相同的若干個(gè)第一螺栓。

進(jìn)一步地，在本發(fā)明的真空鍍膜裝置中，還可以具有這樣的特征：鍋底板的形狀為圓臺(tái)形。

進(jìn)一步地，在本發(fā)明的真空鍍膜裝置中，還可以具有這樣的特征：鍋底板的厚度在1~4mm范圍內(nèi)。

進(jìn)一步地，在本發(fā)明的真空鍍膜裝置中，還可以具有這樣的特征：轉(zhuǎn)動(dòng)軸與定位座采用螺紋連接、嵌合連接、卡合連接中的任一種連接方式相連。

進(jìn)一步地，在本發(fā)明的真空鍍膜裝置中，還可以具有這樣的特征：轉(zhuǎn)動(dòng)軸與定位座采用螺紋連接方式相連，轉(zhuǎn)動(dòng)軸含有用于安裝基板承載部的安裝部，安裝部含有多個(gè)第二螺栓，定位座包括與多個(gè)第二螺栓相對(duì)應(yīng)，并且個(gè)數(shù)相等的多個(gè)第三螺紋孔。

進(jìn)一步地，在本發(fā)明的真空鍍膜裝置中，還可以具有這樣的特征：夾具裝載部包括與復(fù)數(shù)個(gè)夾具的個(gè)數(shù)相等的復(fù)數(shù)個(gè)夾具裝載臺(tái)。

進(jìn)一步地，在本發(fā)明的真空鍍膜裝置中，還可以具有這樣的特征：夾具的連接軸與夾具裝載臺(tái)采用螺紋連接、嵌合連接、卡合連接中的任一種連接方式相連。

進(jìn)一步地，在本發(fā)明的真空鍍膜裝置中，還可以具有這樣的特征：夾具的連接軸與夾具裝載臺(tái)采用螺紋連接方式相連，夾具的連接軸上含有第二外螺紋，夾具裝載臺(tái)具有與連接軸相對(duì)應(yīng)的裝載凹槽，該裝載凹槽內(nèi)設(shè)有第二內(nèi)螺紋。

發(fā)明的作用與效果